[實用新型]一種半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520179612.1
• 申請日: 2015-03-27
• 公開（公告）號: CN204575748U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳京錦;趙策洲;劉晨光
• 申請（專利權(quán)）人: 西交利物浦大學(xué)
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 范晴

1.?一種半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)，其特征在于，包括信號發(fā)生模塊、信號放大模塊、信號錄制模塊和計算機；

所述信號發(fā)生模塊用于發(fā)出周期大于20us，幅值為100-300mv，電壓變化率小于33333V/S的脈沖電壓信號；

所述信號放大模塊用于將被測材料輸出的電流信號經(jīng)放大后轉(zhuǎn)化為電壓信號；

所述信號錄制模塊用于錄制信號放大模塊輸出的電壓信號，繪制電壓曲線，通過電壓曲線計算瞬態(tài)電容；

所述計算機安裝有電子儀器控制環(huán)境，用于控制和處理數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述瞬態(tài)電容的計算公式為：???????????????????????????????????????????????，其中，(dV_g)/dt?為脈沖信號電壓變化率，V_out為經(jīng)過放大電路后得到的電壓值，A為電流放大器放大倍數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述脈沖電壓信號的波形可以是方波、梯形波或者三角波。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述信號錄制模塊以1ms的間隔，每幀2ms的速度進行錄制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件瞬態(tài)電容的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述信號錄制模塊將得到的波形文件轉(zhuǎn)化成含有連續(xù)電壓信息的原始數(shù)據(jù)文件，通過預(yù)先設(shè)定的示波器刻度值轉(zhuǎn)化為具體電壓數(shù)據(jù)。