[實用新型]一種拋光機的上拋光盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520177510.6
• 申請日: 2015-03-27
• 公開（公告）號: CN204565866U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金萬斌;李方俊;陳麗春
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司
• 主分類號: B24B37/16
• 分類號: B24B37/16
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及研磨機或拋光機的結(jié)構(gòu)，具體涉及一種拋光機的上拋光盤。

背景技術(shù)

用于藍(lán)寶石襯底材料拋光機的下拋光盤，由于在拋光過程中會產(chǎn)生大量的熱，溫度的變化必然會導(dǎo)致拋光盤發(fā)生形變，進(jìn)而影響加工質(zhì)量，因此必須嚴(yán)格控制拋光盤的溫度。近年來藍(lán)寶石襯底晶片的尺寸趨向大直徑化，對藍(lán)寶石晶片的質(zhì)量要求也越來越嚴(yán)，對于用來進(jìn)行藍(lán)寶石晶片拋光加工的拋光設(shè)備，必須嚴(yán)格控制拋盤的形變。

此前生產(chǎn)的單面拋光機的拋盤采用整體式結(jié)構(gòu)，沒有進(jìn)行專門溫度控制的裝置，拋光加工過程中所產(chǎn)生的熱量主要靠拋光液帶走，屬于被動式冷卻，拋盤溫度的變化不可控。而藍(lán)寶石襯底材料的應(yīng)用行業(yè)對藍(lán)寶石片的品質(zhì)要求比較高，對上下拋光盤進(jìn)行精密溫度控制是必需的，因此必須采用新的下盤結(jié)構(gòu)，以便對拋盤進(jìn)行冷卻，達(dá)到溫度精確控制的目的。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種拋光機的上拋光盤。

為實現(xiàn)上述目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種拋光機的上拋光盤，包括上盤工作盤，所述上盤工作盤的上方設(shè)有上盤冷水盤，在所述上盤工作盤的和所述上盤冷水盤之間設(shè)有分水盤，所述分水盤將所述上盤工作盤和所述上盤冷水盤分割形成上下兩層連通的整體式圓面空腔，在所述上盤冷水盤上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，分別與所述整體式圓面空腔連通。

進(jìn)一步的，所述整體式圓面空腔的下層為進(jìn)水區(qū)，上層為出水區(qū)，所述進(jìn)水口和所述出水口均為螺紋孔，所述整體式圓面空腔的中間位置為密封圈槽。

進(jìn)一步的，所述分水盤上設(shè)有通水孔，與所述進(jìn)水口相通用于向下層空腔進(jìn)水。

進(jìn)一步的，所述上盤工作盤與上盤冷水盤之間外圈設(shè)有外圈密封圈，內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)圈密封圈。

優(yōu)選的，所述上盤冷水盤與上盤工作盤上均設(shè)有破真空的進(jìn)氣口。

進(jìn)一步的，所述上盤冷水盤與分水盤由第一連接螺釘連接。

進(jìn)一步的，所述上盤冷水盤與上盤工作盤由第二連接螺釘連接。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過特殊的而又簡單的分水盤結(jié)構(gòu)將上盤工作盤和冷水盤分割成兩層聯(lián)通的冷卻空腔，且空腔為整體式的圓面使得冷卻水與工作盤接觸面積最大化，水路設(shè)計由低位向上升漲，進(jìn)而保證了冷卻水充分的充滿腔體后從出水口流出，確保了冷卻水能對拋盤進(jìn)行充分冷卻，及時帶走因加工而產(chǎn)生的熱量，對拋盤起到了強制冷卻的作用，較傳統(tǒng)的被動式冷卻更可靠。結(jié)合精密的測溫系統(tǒng)及冷卻水流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)，實現(xiàn)了拋盤溫度的精密控制。同時分水盤此結(jié)構(gòu)加工工藝性較好，制造成本低。

上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。本實用新型的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細(xì)給出。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1是本實用新型拋光機的上拋光盤的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型拋光機的上拋光盤A-A剖視圖；

圖3是本實用新型拋光機的上拋光盤的B-B剖視圖。

圖中標(biāo)號說明：

1、上盤冷水盤，2、上盤冷水盤，3、分水盤，4、密封圈，5、進(jìn)水口，6、內(nèi)圈密封圈，7、出水口，8、進(jìn)氣口，9、第一連接螺釘，10、整體式圓面空腔，11、第二連接螺釘，12、密封圈槽，13、通水孔。

具體實施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實施例，來詳述本實用新型的結(jié)構(gòu)特點及技術(shù)實施過程：

如圖1-3所示，一種拋光機的上拋光盤，包括上盤冷水盤2，所述上盤工作盤2的上方設(shè)有上盤冷水盤1，在所述上盤工作盤2的和所述上盤冷水盤1之間設(shè)有分水盤3，所述分水盤3將所述上盤工作盤2和所述上盤冷水盤1分割形成上下兩層連通的整體式圓面空腔10，在所述上盤冷水盤1上設(shè)有進(jìn)水口5和出水口7，分別與所述整體式圓面空腔10連通。

進(jìn)一步的，所述整體式圓面空腔10的下層為進(jìn)水區(qū)，上層為出水區(qū)，所述進(jìn)水口5和所述出水口7均為螺紋孔，所述整體式圓面空腔10的中間位置為密封圈槽12。

進(jìn)一步的，所述分水盤3上設(shè)有通水孔13，與所述進(jìn)水口5相通用于向下層空腔進(jìn)水。

進(jìn)一步的，所述上盤工作盤2與上盤冷水盤1之間外圈設(shè)有外圈密封圈4，內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)圈密封圈6。