[實(shí)用新型]用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520174956.3
• 申請(qǐng)日: 2015-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN204602200U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚國華;張艷春;李鋒;王國權(quán);邵楓;王洪光;馮寶軍;白竟超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國電內(nèi)蒙古晶陽能源有限公司
• 主分類號(hào): B01J20/20
• 分類號(hào): B01J20/20;B01J20/34;B01D53/04
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 李志東

1.一種用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，包括：

第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱，所述第一活性炭吸附柱、第二活性炭吸附柱、第三活性炭吸附柱分別獨(dú)立地具有多晶硅尾氣入口、再生氣出口、冷卻介質(zhì)入口、冷卻介質(zhì)出口、加熱介質(zhì)入口、加熱介質(zhì)出口、氫氣出口和氫氣入口；

多晶硅尾氣供給裝置，所述多晶硅尾氣供給裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的多晶硅尾氣入口相連；

再生氣接受裝置，所述再生氣接受裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的再生氣出口相連；

冷卻介質(zhì)供給裝置，所述冷卻介質(zhì)供給裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷卻介質(zhì)入口相連；

冷卻介質(zhì)接受裝置，所述冷卻介質(zhì)接受裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷卻介質(zhì)出口相連；

加熱介質(zhì)供給裝置，所述加熱介質(zhì)供給裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加熱介質(zhì)入口相連；

加熱介質(zhì)接受裝置，所述加熱介質(zhì)接受裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加熱介質(zhì)出口相連；

氫氣接受裝置，所述氫氣接受裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氫氣出口相連；

氫氣供給裝置，所述氫氣供給裝置分別獨(dú)立地與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氫氣入口相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述再生氣接受裝置包括氯化氫接受裝置和/或氯硅烷接受裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱介質(zhì)供給裝置包括水供給裝置和/或?qū)嵊凸┙o裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括：氫氣電解裝置，所述氫氣電解裝置分別與所述氫氣接受裝置和所述氫氣供給裝置相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述多晶硅尾氣供給裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的多晶硅尾氣入口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一多晶硅尾氣入口閥門、第?二多晶硅尾氣入口閥門和第三多晶硅尾氣入口閥門。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述再生氣接受裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的再生氣出口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一再生氣出口閥門、第二再生氣出口閥門和第三再生氣出口閥門。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻介質(zhì)供給裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷卻介質(zhì)入口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一冷卻介質(zhì)入口閥門、第二冷卻介質(zhì)入口閥門和第三冷卻介質(zhì)入口閥門；

所述冷卻介質(zhì)接收裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的冷卻介質(zhì)出口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一冷卻介質(zhì)出口閥門、第二冷卻介質(zhì)出口閥門和第三冷卻介質(zhì)出口閥門。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱介質(zhì)供給裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加熱介質(zhì)入口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一加熱介質(zhì)入口閥門、第二加熱介質(zhì)入口閥門和第三加熱介質(zhì)入口閥門；

所述加熱介質(zhì)接受裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的加熱介質(zhì)出口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一加熱介質(zhì)出口閥門、第二加熱介質(zhì)出口閥門和第三加熱介質(zhì)出口閥門。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于分離回收多晶硅尾氣的活性炭吸附再生系統(tǒng)，其特征在于，所述氫氣接受裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氫氣出口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一氫氣出口閥門、第二氫氣出口閥門和第三氫氣出口閥門；

所述氫氣供給裝置與所述第一活性炭吸附柱、所述第二活性炭吸附柱、所述第三活性炭吸附柱的氫氣入口相連的管路上依次分別設(shè)置有第一氫氣入口閥門、第二氫氣入口閥門和第三氫氣入口閥門。