[實用新型]一種可直開的泡生法藍寶石爐的前爐門結構

有效

• 申請號: 201520174793.9
• 申請日: 2015-03-26
• 公開（公告）號: CN204570084U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 劉瑜;杜慧江;邢明
• 申請（專利權）人: 寧波晶工晶體科技有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及泡生法藍寶石晶體生長技術領域，尤其涉及一種可直開的泡生法藍寶石爐的前爐門結構，同時可適用于其他相似領域。

背景技術

藍寶石又稱白寶石，是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料，由于具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高（2045℃）等優良的物理、機械、化學及紅外透光性能，一直是微電子、航空航天、軍工等領域急需的材料，憑借其極高的強度、硬度、紅外透過性能和抗熱沖擊性能。該材料在光學窗口、半導體照明、微波器件等領域都有廣泛的應用，已成為用量僅次于硅單晶的一種功能晶體材料。尤其是光學級大尺寸藍寶石材料，由于其具有性能穩定、市場需求量大、綜合利用率及產品附加值高等特點，成為近年國內外研究開發和產業化熱點。藍寶石晶體的生長方法很多，但只有泡生法才能獲得缺陷和應力少的大尺寸高光學質量的藍寶石晶體，目前70%的藍寶石材料是由泡生法制造的。

泡生法藍寶石晶體生長設備包括爐體、控制系統、真空系統、水冷系統及動力系統。為保證密封性能，目前的泡生法藍寶石設備的爐體和爐蓋上都有20個左右的螺孔，爐體和爐蓋上還有一組密封槽用于安裝橡膠密封圈。這20組螺孔在每次安裝熱場過程中都需要拆裝，因此非常繁瑣，而且頻繁的拆裝對于爐體的密封性能影響也很大，因此設計一種不使用螺栓的直開式的前爐門，能有效提高設備的穩定性，減少維護成本。

發明內容

（一）要解決的技術問題

????本實用新型設計了一種可直開的泡生法藍寶石爐的前爐門結構，爐體與前爐門間直接連接，不再采用螺栓固定，極為簡便；同時采用簡單的鎖扣結構，解決了爐體與前爐門之間的密閉問題，使爐體及熱場、原料的安裝過程更為簡便。

（二）技術方案

為達到上述目的，本實用新型提供了一種可直開的泡生法藍寶石爐的前爐門結構，包括方形的爐體及爐體水冷套，前爐門和密封條，所述的前爐門設置為方形，直接放在所述的爐體的正面，所述的前爐門內部設置前爐門水冷套，并在所述的前爐門上設置進水口和出水口與所述的前爐門水冷套連接，所述的前爐門與所述的爐體之間設置密封條，所述的前爐門的四周設置四個鎖扣，所述的鎖扣與所述的爐體的兩側外延扣牢。

所述的密封條設置為聚四氟乙烯材質，厚度為2.5mm的方條。

安裝時將前爐門直接放在爐體上，無需使用螺栓固定，前爐門與爐體之間用密封條密封，然后用鎖扣固定。

附圖說明

圖1為爐蓋結構的正視圖；

圖2為爐蓋結構的側視圖。

具體實施方式

下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步展開說明，但需要指出的是，本實用新型所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。對于本領域普通技術人員可以推知的其他結構形式，亦屬于本實用新型所要求保護的范圍之內。

請一并參閱俯圖1-2，一種可直開的泡生法藍寶石爐的前爐門結構，包括方形的爐體1及爐體水冷套，所述的爐體1設置為方形，可用于生長方形的藍寶石晶體。還包括前爐門2和密封條。

所述的前爐門2設置為方形，直接放在所述的爐體1的正面。為了防止高溫損害，所述的前爐門2內部設置前爐門水冷套，并在所述的前爐門2上設置進水口4和出水口5，所述的進水口4和出水口5與所述的前爐門水冷套連接，形成冷卻水的循環，進而帶走熱量。

所述的前爐門2與所述的爐體1之間設置密封條，所述的密封條設置為聚四氟乙烯材質，厚度為2.5mm的方條。

為了保證密封效果，所述的前爐門2的四周設置四個鎖扣3，所述的鎖扣3與所述的爐體1的兩側外延扣牢。

這樣，安裝時將所述的前爐門2直接放在所述的爐體1的正面，無需使用螺栓固定，所述的前爐門2與爐體1之間用密封條密封，然后用所述的鎖扣3扣緊，從而保證了整個系統的真空條件，同時不使用螺栓能有效提高原料及熱場的安裝效率。