[實用新型]一種改進的背電極沉積設備

有效

• 申請號: 201520170678.4
• 申請日: 2015-03-25
• 公開（公告）號: CN204558504U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 屈良錢;沈一清;李帥鋒;趙振國;王飛
• 申請（專利權）人: 浙江長興漢能光伏有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙) 33232
• 代理人: 趙衛康

技術領域

本實用新型涉及薄膜太陽能電池制造技術領域，具體是一種改進的背電極沉積設備。

背景技術

目前沉積設備在發生故障或者正常PM時，在4人同時手動作業情況下，完全開啟或關閉多個腔室的上蓋需要花費至少數個小時時間，加上故障處理或PM時間及復機時間，整個過程耗時更多，嚴重影響生產產能，人員工作量大，無法很好的正常作息，人力成本高。而較常用的起吊上蓋的方式雖然能夠減輕勞動強度，但工人維修非常不便。

實用新型內容

本實用新型的技術目的在于提供一種改進的背電極沉積設備，解決開關蓋體費時費力、效率低下的問題。

本實用新型的具體技術方案如下：一種改進的背電極沉積設備，包括真空腔體和設于所述真空腔體上的腔體蓋板，還包括設于所述真空腔體與所述腔體蓋板之間的連接合頁、用于配合所述連接合頁將所述腔體蓋板翻起或回落的開合裝置、用于調節所述真空腔體內氣壓的抽送氣裝置和用于監測所述真空腔體氣壓的真空計，通過所述真空計的氣壓監測控制所述抽送氣裝置從而控制所述開合裝置。

作為優選，所述開合裝置包括設于所述腔體蓋板上的連接筋、固定連接于所述連接筋的固定片、安裝在所述固定片上且連接于所述連接筋的伸縮氣缸和鉸接于所述固定片的活動支撐桿。

作為優選，所述連接筋上設有若干處用于與所述固定片固定連接的固定部和若干處用于與所述伸縮氣缸活動連接的拉動部。

作為優選，所述連接筋上具有用于設置所述拉動部的拉動區域，所述拉動區域為所述連接筋的中心至所述連接筋的遠離所述連接合頁的端部。

作為優選，所述真空腔體和/或所述腔體蓋板上設有用于緩和開合時的相互摩擦與撞擊的緩沖墊圈和用于使所述真空腔體被隔絕的密封圈。

作為優選，所述真空腔體上設有用于支撐并限制所述腔體蓋板翻起時的限位支撐件。

作為優選，所述抽送氣裝置包括與所述真空腔體連通的的尾氣泵及充氣泵，所述尾氣泵與所述充氣泵共同連接有保護氣源，所述真空腔體、所述尾氣泵、所述充氣泵及所述保護氣源之間通過循環管道相連通，循環管道上設有用于分別控制所述尾氣泵與所述保護氣源、所述充氣泵與所述保護氣源的第一控制閥、第二控制閥。

作為優選，所述真空計包括粗側真空計與精測真空計。

作為優選，所述真空計、所述抽送氣裝置及所述開合裝置共同連接有信號中樞，通過所述信號中樞使得所述抽送氣裝置與所述開合裝置根據所述真空計的監測信息進行啟停動作。

本實用新型的技術優點在于所述改進的背電極沉積設備結構緊湊、使用方便，能夠代替傳統手動方式或吊起方式，省時省力，維修方便，大大提高了生產效率，降低運維成本。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構示意圖；

具體實施方式

下面將結合附圖，通過具體實施例對本實用新型作進一步說明：

見圖1，一種改進的背電極沉積設備，包括真空腔體1和設于真空腔體1上的腔體蓋板2，還包括設于真空腔體1與腔體蓋板2之間的連接合頁3、用于配合連接合頁3將腔體蓋板2翻起或回落的開合裝置、用于調節真空腔體1內氣壓的抽送氣裝置和用于監測真空腔體1氣壓的真空計，通過真空計的氣壓監測控制抽送氣裝置從而控制開合裝置。

開合裝置包括設于腔體蓋板2上的連接筋21、固定連接于連接筋21的固定片22、安裝在固定片22上且連接于連接筋21的伸縮氣缸23和鉸接于固定片22的活動支撐桿24。連接筋21上設有若干處用于與固定片22固定連接的固定部和若干處用于與伸縮氣缸23活動連接的拉動部。連接筋21上具有用于設置拉動部的拉動區域，拉動區域為連接筋21的中心至連接筋21的遠離連接合頁3的端部。

真空腔體1和/或腔體蓋板2上設有用于緩和開合時的相互摩擦與撞擊的緩沖墊圈和用于使真空腔體1被隔絕的密封圈。真空腔體1上設有用于支撐并限制腔體蓋板2翻起時的限位支撐件25，限位支撐件25可以為活動桿，在活動桿的頂部可以設置便于抵住腔體蓋板2的支撐斜面。翻轉角度為腔體蓋板2所在平面與真空腔體1所在平面的夾角，翻轉角度的范圍為0~120°。

抽送氣裝置包括與真空腔體1連通的的尾氣泵5及充氣泵6，尾氣泵5與充氣泵6共同連接有保護氣源7，真空腔體1、尾氣泵5、充氣泵6及保護氣源7之間通過循環管道相連通，循環管道上設有用于分別控制尾氣泵5與保護氣源7、充氣泵6與保護氣源7的第一控制閥71、第二控制閥61。保護氣源7一般為氮氣，氮氣可作為稀釋氣體、防止尾氣泵5或充氣泵6內部轉子卡死的吹掃氣體或將真空腔體1內殘余或有害氣體、塵埃擠出的恢復氣體。

真空計包括粗側真空計4與精測真空計5。真空計、抽送氣裝置及開合裝置共同連接有信號中樞，通過信號中樞使得抽送氣裝置與開合裝置根據真空計的監測信息進行啟停動作。信號中樞可利用傳感器及PLC控制回路來完成。