[實用新型]一種新型石墨舟卡點有效
| 申請號: | 201520165878.0 | 申請日: | 2015-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN204490991U | 公開(公告)日: | 2015-07-22 |
| 發明(設計)人: | 關統州;王光濤;蘇文明 | 申請(專利權)人: | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 李中華 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 石墨 舟卡點 | ||
技術領域
本實用新型涉及太陽能電池片生產技術領域,尤其涉及一種石墨舟中用于固定硅片的新型石墨舟卡點。
背景技術
目前,現有的太陽能電池片生產PECVD當中使用的是石墨舟圓形卡點,用于固定石墨舟片當中的硅片,以便在輝光放電反應時電流在硅片和石墨舟葉間有良好的通路,使氮化硅沉積在硅片的表面,形成80~85nm厚的氮化硅膜,但硅片和卡點接觸的部分由于被卡點遮擋無法形成氮化硅膜,致使電池邊緣鍍膜有一定的瑕疵。
現有的圓形卡點遮蓋面積比較大,在卡點進一步磨損,硅片插入深度增加時遮蓋面積更是成倍增長,導致卡點使用壽命低,更換卡點增加了生產成本;本實用新型采用燕尾形卡點,相對于圓形卡點遮蓋面積變小,大大延長使用壽命,節約生產成本,并且由于遮蓋面積變小使硅片表面的氮化硅膜覆蓋更全面,從而提高了太陽能電池的轉換效率。
實用新型內容
為了解決上述存在的技術問題,本實用新型提供了一種新型石墨舟卡點,具體的技術方案為:
一種新型石墨舟卡點,包括圓柱形固定柱1,所述圓柱形固定柱1兩側設有卡點2,所述圓柱形固定柱1的厚度為2.5mm,直徑為10mm,其特征在于:所述卡點2為燕尾形狀,所述燕尾形的卡點2的整體長度為6mm,整體寬度3.3mm。
本實用新型與現有技術相比具有如下技術效果:本實用新型遮擋位置采用燕尾形設計,鍍膜遮擋面積小,增加卡點使用壽命,電池片有效工作面積大,提高轉換效率高,結構簡單,設計合理,可操作性強,值得推廣。
附圖說明
圖1為本實用新型的燕尾形卡點的主視結構示意圖。
圖2為本實用新型的燕尾形卡點的俯視結構示意圖。
圖3為現有技術中圓形卡點的主視結構示意圖。
圖4為現有技術中圓形卡點的俯視結構示意圖。
圖2和圖4中的陰影表示卡點遮蓋部分
具體實施方式
下面通過具體的實施例,并結合附圖1、2、3、4,,對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
實施例:一種新型石墨舟卡點,包括圓柱形固定柱1,所述圓柱形固定柱1兩側設有卡點2,所述圓柱形固定柱1的厚度為2.5mm,直徑為10mm,其特征在于:所述卡點2為燕尾形狀,所述燕尾形的卡點2的整體長度為6mm,整體寬度3.3mm。
所述石墨舟卡點材質與石墨舟材質相同,卡點固定柱尺寸與現有一般卡點尺寸一致,可適用與所有爐體式設備,可改善所有同類石墨舟進行量產使用時,將硅片插入到石墨舟中卡點位置,由機械臂送入機器當中運行;完成工藝后形成燕尾形卡點2的膜。
從形狀和結構上看,本實用新型卡點遮蓋面積小,一般圓形卡點(直徑6mm,插入深度0.5mm)在硅片的遮蓋面積為1.125mm2,而本實用新型的燕尾形卡點(尺寸為6mm*4mm,插入深度0.5mm)遮蓋面積只有0.597mm2,大大小于圓柱形卡點的遮蓋面積。硅片在圓形卡點和燕尾形卡點上的插入深度都是0.5mm,所以硅片在石墨舟上的牢固度是一致的。
本實用新型的燕尾形卡點的使用壽命長:卡點的更換是根據卡點的遮蓋面積判斷的,當卡點磨損后遮蓋面積大到一定程度時,此時卡點需要更換,圓形卡點磨損到插入深度為1mm時,遮蓋面積是3.098mm2(此時一般需要更換卡點),而燕尾形卡點磨損到1mm時,遮蓋面積只有1.771mm2,這是還可以繼續使用,當磨損到插入深度為1.5mm時,遮蓋面積也僅僅是才達到3.33mm2。因此本實用新型燕尾形卡點的可使用壽命比圓形卡點要長。
以上所述,僅為本實用較佳的具體實施方式,但本實用新型保護范圍并不局限于此,根據本實用新型的技術方案及其發明構思加以等同替換或改變,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





