[實(shí)用新型]線切割工藝中用的脫膠槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520164307.5
• 申請(qǐng)日: 2015-03-23
• 公開（公告）號(hào): CN204566419U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王聰;陳世杰;李世杰;朱琛浩;李其甲;田會(huì)藏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧晉賽美港龍電子材料有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04
• 代理公司: 石家莊元匯專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 13115
• 代理人: 劉聞鐸

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶硅行業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，特別是線切割工藝中用的脫膠槽。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的脫膠槽，包括一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室，在脫膠室內(nèi)盛有酸性溶液，溫度需要控制在54攝氏度，單晶硅需要先在一級(jí)脫膠室內(nèi)進(jìn)行第一次脫膠，再在二級(jí)脫膠室內(nèi)進(jìn)行第二次脫膠，但是將單晶硅從一級(jí)脫膠室拿出到二級(jí)脫膠室內(nèi)時(shí)，會(huì)將一級(jí)脫膠室內(nèi)的酸液帶入一部分到二級(jí)脫膠室內(nèi)，多次操作后會(huì)使一級(jí)脫膠室內(nèi)的酸液減少和二級(jí)脫膠室內(nèi)增多，從而需要對(duì)一級(jí)脫膠室進(jìn)行加液操作并對(duì)二級(jí)脫膠室進(jìn)行排液操作，造成不必要的浪費(fèi)，并且一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室內(nèi)酸液為不流通的“死水”狀態(tài)，長(zhǎng)時(shí)間靜置后會(huì)出現(xiàn)酸液與水的分層現(xiàn)象，導(dǎo)致脫膠的效果下降。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了線切割工藝中用的脫膠槽，將一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室相連通，使酸液循環(huán)流通，避免酸液的浪費(fèi)和脫膠室內(nèi)分層現(xiàn)象的發(fā)生。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室，所述的一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室并排設(shè)置，所述的一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室的頂端都設(shè)置有密封蓋，關(guān)鍵是：所述的一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管和第二連通管，所述的第二連通管上固定有循環(huán)泵。

所述的一級(jí)脫膠室內(nèi)設(shè)置有加熱棒。

所述的二級(jí)脫膠室內(nèi)設(shè)置有加熱棒。

所述的第一連通管與第二連通管上下對(duì)稱設(shè)置。

所述的第一連通管與第二連通管并排設(shè)置。

本實(shí)用新型的有益效果是，將一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室相連通，并在循環(huán)泵的作用下使兩個(gè)脫膠室內(nèi)的酸液循環(huán)流通，避免硅棒從一級(jí)脫膠室拿到二級(jí)脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發(fā)生分層現(xiàn)象的發(fā)生。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中，1?是一級(jí)脫膠室，2?是二級(jí)脫膠室，3?是密封蓋，4?是第一連通管，5?是第二連通管，6?是循環(huán)泵，7?是加熱棒。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。

具體實(shí)施例，如圖1所示，線切割工藝中用的脫膠槽，包括一級(jí)脫膠室1和二級(jí)脫膠室2，所述的一級(jí)脫膠室1和二級(jí)脫膠室2并排設(shè)置，為了避免脫膠室內(nèi)酸液的揮發(fā)，所述的一級(jí)脫膠室1和二級(jí)脫膠室2的頂端都設(shè)置有密封蓋3，為了避免硅棒從一級(jí)脫膠室拿到二級(jí)脫膠室后酸液容量發(fā)生改變，該裝置設(shè)計(jì)為所述的一級(jí)脫膠室1和二級(jí)脫膠室2借助連通管相連通，所述的連通管包括第一連通管4和第二連通管5，由于脫膠室內(nèi)溫度需要控制在54攝氏度，當(dāng)溫度降低時(shí)，一級(jí)脫膠室1內(nèi)設(shè)置有加熱棒7，二級(jí)脫膠室2內(nèi)設(shè)置有加熱棒7，通過(guò)加熱棒7和控制開關(guān)來(lái)控制溫度，所述的第一連通管4與第二連通管5上下對(duì)稱設(shè)置，或者所述的第一連通管4與第二連通管5并排設(shè)置，所述的第二連通管5上固定有循環(huán)泵6，循環(huán)泵6為一級(jí)脫膠室1和二級(jí)脫膠室2內(nèi)的酸液循環(huán)流通提供動(dòng)力。該裝置將一級(jí)脫膠室和二級(jí)脫膠室相連通，并在循環(huán)泵的作用下使兩個(gè)脫膠室內(nèi)的酸液循環(huán)流通，避免硅棒從一級(jí)脫膠室拿到二級(jí)脫膠室后酸液容量改變，和脫膠室靜置發(fā)生分層現(xiàn)象的發(fā)生。