[實用新型]超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520157556.1
• 申請日: 2015-03-19
• 公開（公告）號: CN204536138U
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設計）人: 劉春華;李一鵬
• 申請（專利權）人: 天津航天瑞萊科技有限公司蘇州分公司
• 主分類號: G01N3/36
• 分類號: G01N3/36
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于包括相互配合的第一膜盒法蘭及第二膜盒法蘭，所述第一膜盒法蘭、第二膜盒法蘭分別連接有第一傳感器、第二傳感器，在測試時，待測試的超薄膜片被固定于所述第一膜盒法蘭及第二膜盒法蘭之間，且待測試的超薄膜片還分別與所述第一膜盒法蘭、第二膜盒法蘭密封配合形成第一氣室和第二氣室，所述第一氣室和第二氣室經微氣壓控制單元與氣源連通，所述第一傳感器和第二傳感器分別與第一氣室和第二氣室配合。

2.根據權利要求1所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述第一膜盒法蘭、第二膜盒法蘭分別經第一O型圈、第二O型圈與待測試的超薄膜片密封連接。

3.根據權利要求1或2所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述第一膜盒法蘭及第二膜盒法蘭固定在支架主體上。

4.根據權利要求3所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述微氣壓控制單元包括與氣源連接的微氣壓控制器、與所述微氣壓控制器連接的任意波形發(fā)生裝置，且所述微氣壓控制器及任意波形發(fā)生裝置還分別與第一氣室控制單元和第二氣室控制單元連接。

5.根據權利要求4所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述氣源依次經調壓閥、流量微調閥與微氣壓控制器連接。

6.根據權利要求4所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述任意波形發(fā)生裝置依次經電平轉換電路、PLC同步邏輯控制器與第一氣室控制單元和第二氣室控制單元連接。

7.根據權利要求4-6中任一項所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述第一氣室控制單元包括第一氣室控制閥，所述第一氣室控制?閥經第一氣室執(zhí)行機構與第一氣室配合，所述第二氣室控制單元包括第二氣室控制閥，所述第二氣室控制閥經第二氣室執(zhí)行機構與第二氣室配合。

8.根據權利要求7所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述第一氣室控制閥與第一氣室執(zhí)行機構之間、所述第二氣室控制閥與第二氣室執(zhí)行機構之間還均設有穩(wěn)流濾毛刺裝置。

9.根據權利要求8所述的超薄膜片的微氣壓交互加壓試驗裝置，其特征在于，所述穩(wěn)流濾毛刺裝置包括等效于LC濾波器中的L元件的螺旋氣管以及等效于LC濾波器中的C元件的單進單出氣室。