[實用新型]用于合成的石英管

有效

• 申請號: 201520154918.1
• 申請日: 2015-03-18
• 公開（公告）號: CN204509508U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 雷仁貴;羅小龍
• 申請（專利權）人: 廣東先導半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B28/14
• 分類號: C30B28/14;C30B29/42
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張向琨

技術領域

本實用新型涉及合成器件領域，尤其涉及一種用于合成的石英管。

背景技術

圖1為現有的用于合成的石英管的示意圖。

如圖1所示，在用水平法進行砷化鎵(GaAs)多晶合成時，需要用石英管將鎵和砷真空氫氧焰封焊。每次合成完后都需要對焊接部位W處(圖中采用虛線示出)進行切割，所以在重復使用2次切管之后，石英管的有效長度將會減少8英寸左右，太短的空間量在砷化鎵多晶合成時會有炸管的危險，一旦出現炸管，合成當中的材料全部會報廢，砷揮發到空氣當中，不僅對生產造成很大損失，而且會對環境造成很大危害。因此，在傳統的工藝下，使用兩次后的封裝石英管已經無法使用，只能報廢處理。而石英管的價格昂貴，這極大的增加了砷化鎵多晶合成的費用，并且造成了較大的浪費。

實用新型內容

鑒于背景技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種用于合成的石英管，其從可重復使用兩次提高到使用三次或更多次，能降低生產成本。

為了實現上述目的，本實用新型提供了一種用于合成的石英管，其包括：石英管體，具有沿長度方向的相對的開口端和封閉端，且具有預定的管體容量；以及石英管帽，具有沿長度方向的相對的開口端和封閉端，且具有預定的管帽容量，石英管帽的開口端裝入并封堵在石英管體的開口端內并焊接在一起。石英管帽的封閉端沿長度方向突伸到石英管體的開口端之外；其中，當石英管一次合成使用后，在石英管帽的開口端和石英管體的開口端焊接在一起的焊接部位處將石英管切割，從而將剩余的石英管帽再次裝入石英管體內并焊接在一起，以進行下一次使用；在石英管一次合成使用前，沿長度方向石英管帽的封閉端至石英管體的開口端之間的距離為L1'，且每次合成使用時沿長度方向石英管帽的開口端至石英管體的開口端之間的距離為L2，L1'≥2L2。

本實用新型的有益效果如下：

通過對石英管帽進行加長，增加了石英管的空間容量，使石英管用于合成的空間容量達到最低工藝技術要求從而保證了合成的順利進行，同時，加長的石英管帽通過一次合成使用進行切割后還可以進行再次合成使用，使用于合成的石英管從可重復使用兩次提高到使用三次或更多次，極大地降低了生產成本，達到了節能降耗的目的。

附圖說明

圖1為現有的用于合成的石英管的示意圖；

圖2為根據本實用新型的用于合成的石英管第一次使用的示意圖；

圖3為根據本實用新型的用于合成的石英管第二次使用的示意圖；

圖4為根據本實用新型的用于合成的石英管第三次使用的示意圖。

其中，附圖標記說明如下：

1石英管體??????????21開口端

??11開口端?????????22封閉端

??12封閉端????????L長度方向

2石英管帽

具體實施方式

下面參照附圖來詳細說明根據本實用新型的用于合成的石英管。

參照圖2至圖4，根據本實用新型的用于合成的石英管包括：石英管體1，具有沿長度方向L的相對的開口端11和封閉端12，且具有預定的管體容量；以及石英管帽2，具有沿長度方向L的相對的開口端21和封閉端22，且具有預定的管帽容量，石英管帽2的開口端21裝入并封堵在石英管體1的開口端11內并焊接在一起。石英管帽2的封閉端22沿長度方向L突伸到石英管體1的開口端11之外；其中，當石英管一次合成使用后，在石英管帽2的開口端21和石英管體1的開口端11焊接在一起的焊接部位W處將石英管切割(在圖中沿虛線切割)，從而將剩余的石英管帽2再次裝入石英管體1內并焊接在一起，以進行下一次使用；在石英管一次合成使用前，沿長度方向L石英管帽2的封閉端22至石英管體1的開口端11之間的距離為L1'，且每次合成使用時沿長度方向L石英管帽2的開口端21至石英管體1的開口端11之間的距離為L2，L1'≥2L2。通過L1'和L2之間的關系，可以確保每次合成時使石英管的總容量大于石英管體1的管體容量，形成的石英管的總容量提供合成的空間。

相比于現有技術，本實用新型通過對石英管帽2進行加長，增加了石英管的空間容量，使石英管用于合成的空間容量達到最低工藝技術要求從而保證了合成的順利進行，同時，加長的石英管帽2通過一次合成使用進行切割后還可以進行再次合成使用，使用于合成的石英管從可重復使用兩次提高到使用三次或更多次，極大地降低了生產成本，達到了節能降耗的目的。