[實用新型]一種掩模版的夾持裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520154596.0
• 申請日: 2015-03-18
• 公開（公告）號: CN204515341U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 游定平
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市龍圖光電有限公司
• 主分類號: G03F1/64
• 分類號: G03F1/64
• 代理公司: 深圳市君盈知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及掩模版技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩模版的夾持裝置。

背景技術(shù)

掩模版是一種在薄膜、塑料或玻璃基體材料上，制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的結(jié)構(gòu)，其也稱光罩或光學(xué)掩模版，常見的掩模版有鉻版、干版和菲林等。

掩模版在生產(chǎn)、運輸、安裝或使用之中，會在掩模版表面產(chǎn)生某些缺陷，如劃傷、頂傷、蹭傷、白缺陷、黑缺陷等，故在生產(chǎn)完成后或使用一段時間后，應(yīng)對掩模版表面進行檢查。

現(xiàn)有的檢查方式包括自動檢查和人工檢查，其中自動檢查是通過自動檢測設(shè)備進行檢查，但是其投入成本高，檢查效率低、檢查準(zhǔn)確性低；而人工檢查一般是在強光下進行查看是否存在缺陷，但是其不能正常檢查大尺寸掩膜版的外觀缺陷。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種掩模版的夾持裝置，提高掩模版的檢查效率。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：提供一種掩模版的夾持裝置，包括總架，還包括：

固定組件，其包括可調(diào)支架和掩模版固定件，該掩模版固定件設(shè)置在可調(diào)支架上，用于固定掩模版；

底部支撐架，其與可調(diào)支架連接，并與總架轉(zhuǎn)動連接，該可調(diào)支架通過底部支撐架在一定傾斜角度上進行擺動。

其中，較佳方案是：該底部支撐架包括一移動組件，該可調(diào)支架與移動組件連接，該可調(diào)支架通過移動組件在底部支撐架上移動。

其中，較佳方案是：該移動組件包括第一鎖定件。

其中，較佳方案是：該移動組件包括設(shè)置在底部支撐架上的移動軌道，該可調(diào)支架的底部包括與移動軌道配合的限位結(jié)構(gòu)，該可調(diào)支架通過限位結(jié)構(gòu)在移動軌道上移動。

其中，較佳方案是：該掩模版固定件包括設(shè)置在移動架底部的底部掩模版固定件，和設(shè)置在移動架頂部的頂部掩模版固定件。

其中，較佳方案是：該掩模版固定件包括一固定凹槽。

其中，較佳方案是：該底部掩模版固定件為“L”型結(jié)構(gòu)。

其中，較佳方案是：還包括一旋轉(zhuǎn)軸，該底部支撐架通過旋轉(zhuǎn)軸與總架旋轉(zhuǎn)連接。

其中，較佳方案是：該總架包括一限位凹槽，該底部支撐架設(shè)置在限位凹槽內(nèi)。

其中，較佳方案是：還包括與底部支撐架連接的第二鎖定組件。

本實用新型的有益效果在于，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過設(shè)計一種掩模版的夾持裝置，在檢查掩模版前夾緊掩模版，實現(xiàn)對大尺寸掩膜版進行人工外觀檢查，降低成本；同時掩模版可通過夾持裝置進行角度旋轉(zhuǎn)，提高檢查準(zhǔn)確性，提高檢查效率。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：

圖1是本實用新型夾持裝置的剖面正視圖；

圖2是本實用新型夾持裝置的剖面左視圖；

圖3是本實用新型夾持裝置的剖面放大圖；

圖4是本實用新型掩模版固定件的剖面正視圖；

圖5是本實用新型掩模版固定件的剖面左視圖。

具體實施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖，對本實用新型的較佳實施例作詳細(xì)說明。

如圖1和圖2所示，本實用新型提供一種掩模版的夾持裝置的優(yōu)選實施例，其中，圖1是夾持裝置的剖面正視圖；圖2是夾持裝置的剖面左視圖

一種掩模版的夾持裝置，包括總架30，還包括固定組件10和底部支撐架20，掩模版通過固定組件10固定，并通過底部支撐架20帶動旋轉(zhuǎn)，便于掩模版的檢查。

其中，固定組件10，其包括可調(diào)支架11和掩模版固定件12，掩模版固定件12設(shè)置在可調(diào)支架11上，用于固定掩模版；底部支撐架20，其與可調(diào)支架11連接，并與總架30轉(zhuǎn)動連接，可調(diào)支架11通過底部支撐架20在一定傾斜角度上進行擺動。

具體地，可調(diào)支架11是設(shè)置在底部支撐架20上的兩端的支撐架，包括第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11，掩模版固定在第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11之間。

掩模版固定件12包括設(shè)置在移動架底部的底部掩模版固定件121，和設(shè)置在移動架頂部的頂部掩模版固定件122，即包括兩個底部掩模版固定件121和兩個頂部掩模版固定件122，通過四個掩模版固定件12將掩模版固定在第一可調(diào)支架11和第二可調(diào)支架11之間。