[實用新型]一種靶材提純冷卻循環裝置有效
| 申請號： | 201520153504.7 | 申請日： | 2015-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN204490982U | 公開（公告）日： | 2015-07-22 |
| 發明（設計）人： | 張斐;曾墩風;羅文富;羅承欽 | 申請（專利權）人： | 廈門映日新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省廈*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提純 冷卻 循環 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材提純冷卻循環裝置，其與提純裝置連通并配合使用，其特征在于：該循環裝置包括容液冷卻柜，及開設在容水冷卻柜上的冷卻液的出口及回流口，所述冷卻液的出口及回流口均與管道連通形成冷卻液的流出通道及回流通道，該流出通道及回流通道的兩端分別與容液冷卻柜及前述提純裝置連通，從而形成提純冷卻循環結構。
2.根據權利要求1所述的一種靶材提純冷卻循環裝置，其特征在于：所述冷卻液的出口及回流口分別開設在容水冷卻柜的上、下部的不同側面。
3.根據權利要求1所述的一種靶材提純冷卻循環裝置，其特征在于：所述容液冷卻柜內安裝有水泵，該水泵位于冷卻液的出口處，用以提供冷卻液的流出動力。
4.根據權利要求1至3任意一項所述的一種靶材提純冷卻循環裝置，其特征在于：所述容液冷卻柜為灌滿冷卻液且處于常開狀態的制冷柜體，且其內部溫度為4至5攝氏度。
5.根據權利要求4所述的一種靶材提純冷卻循環裝置，其特征在于：所述冷卻液為純水。
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