[實用新型]散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置

有效

• 申請號: 201520152427.3
• 申請日: 2015-03-17
• 公開（公告）號: CN204596442U
• 公開（公告）日: 2015-08-26
• 發明（設計）人: 宋銀;緱潔;張崇宏
• 申請（專利權）人: 中國科學院近代物理研究所
• 主分類號: G21K5/00
• 分類號: G21K5/00;G21K5/08;G21K5/04
• 代理公司: 蘭州振華專利代理有限責任公司 62102
• 代理人: 張真

1.一種散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于包括有步進電機支架固連于真空法蘭上，步進電機支架固連有步進電機，步進電機驅動旋轉靶盤，在旋轉靶盤的前方設有扇形擋板，扇形擋板連接在步進電機支架上；束流探測裝置支架位于扇形擋板前，其上設有束流探測裝置。

2.如權利要求1所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于還包括有在位于旋轉靶盤的前方設有束斑熒光靶檢測裝置，通過真空法蘭、真空波紋管與熒光靶伸縮裝置連接。

3.如權利要求2所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于所述的束流探測裝置為金硅面壘探測器或硅多條探測器。

4.如權利要求1所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于所述的扇形擋板為檔板上有1/8的扇面開口的圓盤。

5.如權利要求1所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于所述的扇形擋板下的旋轉靶盤作為散射束流樣品臺，在扇形擋板的中央設有法拉第筒，法拉第筒的筒壁設有底部，底部為中心主束流的樣品臺，所述的旋轉靶盤上有有同心圓環刻痕及用于樣品固定的螺孔。

6.如權利要求1所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于還包括有在所述的旋轉靶盤的前方55-65cm設有散射靶膜，散射靶膜為重金屬膜Au膜。

7.如權利要求1所述的散射-低劑量-旋轉載能離子輻照裝置，其特征在于所述的旋轉靶盤及步進電機、扇形擋板均在真空腔室內，其真空度為10^-5Pa，真空腔室內設有LED照明燈。