[實用新型]高清顯示用旋轉硅靶有效
| 申請號： | 201520152398.0 | 申請日： | 2015-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN204589291U | 公開（公告）日： | 2015-08-26 |
| 發明（設計）人： | 秦國強;常金永 | 申請（專利權）人： | 江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷紅梅;劉海 |
| 地址： | 214437 江蘇省無錫市江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯示 旋轉 | ||
【權利要求書】：
1.一種高清顯示用旋轉硅靶，其特征是：包括304不銹鋼背管（1），在304不銹鋼背管（1）表面噴涂有打底層（2），在打底層（2）上噴涂有硅鈮混合層（3）。
2.如權利要求1所述的高清顯示用旋轉硅靶，其特征是：所述301不銹鋼背管（1）的兩端分別設有密封面（4）和接頭（5）。
3.如權利要求1所述的高清顯示用旋轉硅靶，其特征是：所述打底層（2）為鎳鋁打底層，厚度為0.1～1毫米。
4.如權利要求1所述的高清顯示用旋轉硅靶，其特征是：所述硅鈮混合層（3）的厚度為2～13毫米。
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