[實用新型]一種石墨基座

有效

• 申請號: 201520148793.1
• 申請日: 2015-03-16
• 公開（公告）號: CN204825125U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 林前鋒
• 申請（專利權）人: 林前鋒
• 主分類號: C30B25/12
• 分類號: C30B25/12
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

技術領域

本實用新型涉及外延生長設備技術領域，特別涉及一種石墨基座。

背景技術

傳統的6寸石墨基座只能用在生長6寸外延層的腔體，使用比較單一。由于在半導體領域涉及生產訂單更換比較頻繁，隨著半導體技術的不斷進步，大尺寸的外延片需求是市場所需，考慮到以后5寸外延片逐步淘汰，所需的5寸石墨基座也可能逐步淘汰，所以在做石墨備品備件時，由于石墨基座價格比較昂貴，為了減少5寸石墨基座的采購量，需要用6寸石墨基座來代替使用。

另外，為了應對不同尺寸石墨晶片的生長，通常采用更換小盤基座的方式進行。如德國Aixtron公司的2400或2800系列石墨外延爐，采用單獨的3英寸小盤和4英寸小盤，即生長3英寸石墨晶片時使用對應的3英寸小盤，生長4英寸石墨晶片時采用4英寸小盤。由于每次小盤更換之后，都要進行設備的烘烤以除去表面附著的水汽等雜質，這給生產帶來了很大的不便，同時也增加的生產的成本。另外，多種規格的小盤基座同時使用，也給設備維護帶來很大的困難。

因此，若能在同一個小盤上實現多尺寸兼容生長，將會給石墨外延生長帶來極大的便利。

實用新型內容

本實用新型提出一種石墨基座，解決了現有技術中多個尺寸的石墨晶片沒辦法在同一個基座上實現生長的缺陷。本實用新型結構簡單，操作方便，其實現了小尺寸的基座上同時生長多個不同尺寸的石墨晶片。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種石墨基座，其包括石墨圓環和石墨襯底，所述石墨圓環設有內徑和外徑；且所述石墨圓環的厚度與所述石墨襯底的厚度相同，且所述石墨襯底設于所述石墨圓環內。

優選的，所述內徑為3英寸，所述外徑為4英寸。

優選的，所述石墨襯底的直徑小于或等于所述內徑。

優選的，所述石墨圓環包括第一端面、第二端面和側面，所述第一端面、所述第二端面均設于所述側面兩端；且所述第一端面、第二端面上均設有至少一個凹痕。

優選的，所述凹痕設有一個。

優選的，所述凹痕設有兩個。

優選的，所述凹痕設有四個。

優選的，所述凹痕設有第一直徑，所述第一直徑大于所述內徑，且所述第一直徑小于所述外徑。

本實用新型與現有技術相比，具有如下有益效果：

本實用新型石墨圓環的設置，方便將不同尺寸的石墨襯底放置在石墨圓環內，故實現了在小尺寸的基座上同時生長多個不同尺寸的石墨晶片；另外，本實用新型的使用方法簡單，簡化了生產的流程，效率快，且節省成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型石墨基座的分解示意圖；

圖2是本實用新型石墨圓環的俯視圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

參照圖1至圖2，一種石墨基座1，其包括石墨圓環2和石墨襯底3，所述石墨圓環2設有內徑21和外徑22；且所述石墨圓環2的厚度與所述石墨襯底3的厚度相同，且所述石墨襯底3設于所述石墨圓環2內。

優選的，所述內徑為3英寸，所述外徑為4英寸。本實用新型將內徑設為3英寸，外徑設為4英寸，以配合3英寸以上的石墨晶片在本實用新型上進行生長，當然，本領域技術人員可以根據需要選擇將內徑和外徑設置成其它的尺寸，只需達到可以同時供不同尺寸的石墨晶片在本實用新型上生長即可。

優選的，所述石墨襯底的直徑小于或等于所述內徑。本實用新型石墨襯底的直徑小于或等于內徑，故石墨襯底可以安裝在石墨圓環內。

優選的，所述石墨圓環2包括第一端面(未圖示)、第二端面(未圖示)和側面23，所述第一端面、所述第二端面均設于所述側面兩端；且所述第一端面、第二端面上均設有至少一個凹痕24。本實用新型凹痕的設置，方便將石墨晶片放置在石墨圓環上時，凹痕對石墨晶片起到定位作用，使其不易移動；本實用新型中凹痕的形狀可以根據本領域技術人員根據石墨晶片的形狀來設定，可以是圓形、方形或者其它形狀，只需達到配合石墨晶片的放置在石墨圓環上，且對其定位即可。