[實用新型]基于真空室的真空紫外光源測試系統

有效

• 申請號: 201520131373.2
• 申請日: 2015-03-07
• 公開（公告）號: CN204694447U
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發明（設計）人: 張善端;韓秋漪;張豪俊
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.一種基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：包括一個真空室、真空泵、紫外輻射測試設備和燈架，其中：

所述的真空室用金屬材料制成，形狀為圓柱體或圓臺；真空室的內表面進行黑化處理；真空室的門是球冠或拋物面形狀；真空室裝配有若干個法蘭、一個充氣閥、一個放氣閥；

真空室通過一法蘭與真空泵連接；

真空室的充氣閥通過管道與壓縮氣體鋼瓶或氣體源管道相連，用于向真空室內填充高純氮氣、氬氣不吸收紫外和真空紫外的氣體；

所述紫外輻射測試設備包括若干紫外輻照度計、光纖、真空單色儀；

所述燈架位于真空室內，為固定式或旋轉式，可將多根線形光源依次旋轉對準探頭和光纖。

2.按照權利要求1所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的真空室裝配有觀察窗口，窗口材料是能耐受1個大氣壓強負壓的紫外截止型石英玻璃、硬質玻璃或鋼化玻璃。

3.按照權利要求1或2所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述真空室裝配有測量低真空度的電阻規、測量高真空度的電離規和測量水蒸汽、氧氣含量的探頭。

4.按照權利要求3所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述真空室的法蘭用于裝配若干多芯航空插頭，從而實現真空室內外的電連接。

5.按照權利要求4所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述真空室的一法蘭封裝恒溫水浴的水管，從而控制真空室內的紫外光源的冷端溫度。

6.按照權利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的真空室設有若干個探測窗口，窗口外側放置紫外輻照度計的探頭或配有光纖；測量波長200?nm以下的真空紫外輻射時，探測窗口的材料采用氟化鎂晶體，探頭或光纖與窗口之間抽真空或者保持氮氣或氬氣氛圍；測量波長200?nm以上的紫外輻射時，窗口材料是石英玻璃，探頭或光纖周圍處于常溫常壓的大氣中。

7.按照權利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的真空室設有若干個閘板閥探測口,探測口與紫外輻照度計探頭或光纖之間填充氮氣或氬氣；測量時打開閘板閥，真空紫外光直接照射到探頭或光纖頭。

8.按照權利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的真空室內表面的黑化處理是涂覆下述吸光材料之一種：耐真空紫外輻照的黑漆、碳化硅粉、銀粉或納米碳管。

9.按照權利要求7所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的光纖頭前安裝有余弦校正片、準直透鏡光學器件。

10.按照權利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源測試系統，其特征在于：所述的真空室直接跟真空單色儀的入射縫法蘭連接，組成聯合測試系統，同時測定真空紫外光源的相對光譜功率分布、絕對輻射功率和輻射效率。