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[實(shí)用新型]一種復(fù)合式單晶硅用坩堝有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201520130455.5 申請(qǐng)日: 2015-03-06
公開(公告)號(hào): CN204690166U 公開(公告)日: 2015-10-07
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 吳鴻 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 上海珩錮新材料科技有限公司
主分類號(hào): C30B29/06 分類號(hào): C30B29/06;C30B35/00
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 201111 上海市閔*** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 復(fù)合 單晶硅 坩堝
【權(quán)利要求書】:

1.一種復(fù)合式單晶硅用坩堝,其特征在于:該坩堝為由堝幫、堝底組成的復(fù)合式結(jié)構(gòu),所述堝幫為中空筒狀結(jié)構(gòu),其底部設(shè)有兩對(duì)相互對(duì)稱的螺栓過孔;所述堝底為采用兩個(gè)半圓底拼接而成的圓形平底結(jié)構(gòu),每個(gè)半圓底的兩端對(duì)稱開設(shè)一螺栓過孔,且其位置與堝幫上的螺栓過孔相適配;所述堝幫與堝底通過螺栓過孔采用螺栓連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合式單晶硅用坩堝,其特征在于:所述堝幫的直徑略大于堝底,堝幫套接于堝底的外側(cè)并采用螺栓連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合式單晶硅用坩堝,其特征在于:所述堝幫和堝底的外側(cè)均設(shè)有碳化硅涂層。

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