[實(shí)用新型]多晶硅尾氣回收系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520126188.4
• 申請(qǐng)日: 2015-03-05
• 公開（公告）號(hào): CN204522364U
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚國(guó)華;張艷春;李鋒;王國(guó)權(quán);邵楓;王洪光;白竟超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)電內(nèi)蒙古晶陽(yáng)能源有限公司
• 主分類號(hào): B01D5/00
• 分類號(hào): B01D5/00;B01D53/18;B01D53/02;B01D53/00;C01B3/50;C01B7/07;C01B33/107
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.多晶硅尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，其包括尾氣逐級(jí)冷凝器、氯硅烷分離罐、貧富液換熱器、HCl解析塔、高純度HCl冷凝器、高純度HCl回流罐、吸氣緩沖罐、氫氣壓縮機(jī)、氫壓機(jī)出口緩沖罐、混合氣換熱器、吸收塔、氫氣吸附柱、過濾器、氫氣緩沖罐和再生氣逐級(jí)冷凝器；所述尾氣逐級(jí)冷凝器的液相出口與所述氯硅烷分離罐進(jìn)口連接，所述氯硅烷分離罐出口與所述貧富液換熱器的進(jìn)口連接，所述貧富液換熱器的出口與所述HCl解析塔的進(jìn)口連接，所述HCl解析塔的氯硅烷出口與氯硅烷罐區(qū)連接，所述HCl解析塔的氯化氫出口與所述高純度HCl冷凝器進(jìn)口連接，所述高純度HCl冷凝器出口與所述高純度HCl回流罐進(jìn)口連接，所述高純度HCl回流罐的回流出口與所述HCl解析塔的進(jìn)口連接，所述HCl解析塔的不凝氣出口與所述氯硅烷分離罐進(jìn)口連接；

所述尾氣逐級(jí)冷凝器的氣相出口與所述吸氣緩沖罐的進(jìn)口連接、所述吸氣緩沖罐的出口與所述氫氣壓縮機(jī)的進(jìn)口連接，所述氫氣壓縮機(jī)的出口與所述氫壓機(jī)出口緩沖罐的進(jìn)口連接，所述氫壓機(jī)出口緩沖罐的出口分別與所述混合氣換熱器的混合氣進(jìn)口和所述尾氣逐級(jí)冷凝器的進(jìn)氣口連接，所述混合氣換熱器的混合氣出口與所述吸收塔下部的進(jìn)口連接，所述吸收塔頂部的氣相出口與所述混合氣換熱器的氣相進(jìn)口連接，所述混合氣換熱器的氫氣出口與所述氫氣吸附柱下方的進(jìn)氣口連接；所述氫氣吸附柱頂部的氫氣出口與所述過濾器進(jìn)口連接，所述過濾器出口與所述氫氣緩沖罐進(jìn)口連接；所述吸收塔的液相出口與所述貧富液換熱器的進(jìn)口連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，其還包括有再生氣逐級(jí)冷凝器和再生氫氣壓縮機(jī)，所述氫氣吸附柱的再生氣出口與所述再生氣逐級(jí)冷凝器的進(jìn)口連接，所述再生氣逐級(jí)冷凝器的回收液出口與所述氯硅烷罐區(qū)連接；所述再生氣逐級(jí)冷凝器的不凝氣出口與所述再生氫氣壓縮機(jī)進(jìn)口連接，所述再生氫氣壓縮機(jī)出口與所述吸氣緩沖罐的氫氣進(jìn)口連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣逐級(jí)冷凝器包括E-202、E-204和E-205，其中，E-202為管殼式換熱器，E-204為-15℃氟利昂滿液式換熱器，E-205為-46℃氟利昂滿液式換熱器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)，其特征在于，所述再生氣逐級(jí)冷凝器包括循環(huán)水換熱器、氣氣換熱器和-46℃氟利昂滿液式換熱器。