[實用新型]帶有接線機構的鍍膜真空室

有效

• 申請號: 201520125793.X
• 申請日: 2015-03-04
• 公開（公告）號: CN204474750U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 王向紅;徐焱量;何林李
• 申請（專利權）人: 溫州大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 溫州甌越專利代理有限公司 33211
• 代理人: 陳加利

技術領域

?本實用新型涉及一種真空鍍膜室，具體是指一種帶有接線機構的鍍膜真空室。

背景技術

鍍膜真空室是一種用于真空鍍膜的專用設備，現有的鍍膜真空室結構一般都包括有真空室艙體，真空室艙體上設置有抽真空接口，同時真空室艙體內設置有紅外熱管，在真空鍍膜時，一般需要將待鍍膜的產品置于真空室艙體的中間，然后將一對磁控濺射靶對稱設置于待鍍膜的產品的兩側，以便使得待鍍膜的產品的鍍膜均勻。然而，現有的鍍膜真空室結構較為簡單，在實際布置兩個等離子體源時，很難將一對磁控濺射靶做完全對稱分布，因此，影響了鍍膜質量。

另外，現有的鍍膜真空室的紅外熱管的結構包括有外部的石英管、以及設置于石英管內的電熱絲，傳統的鍍膜真空室上一般采用電爐接頭連接方式將電源線與電熱絲相連接，電爐接頭連接方式是使用一種電爐專用的接頭，將發熱絲接入電爐插座，電源線接入電爐插頭，通過插頭插座的方式連接。這種方式電爐接頭連接方式的缺點是尺寸較大，占空間，內部發熱絲與電爐插座間難以連接穩固，生產效率較低。

發明內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術存在的缺點和不足，而提供一種結構設置合理，并能保障一對磁控濺射靶做完全對稱分布，且電熱絲供電連接安全可靠的帶有接線機構的鍍膜真空室。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案是包括有真空室艙體，所述的真空室艙體上設置有進氣接口和抽真空接口，所述的真空室艙體的內壁上設置有紅外加熱管，所述的紅外加熱管包括有石英管以及設置于石英管內的電熱絲，還包括有電源線，該電源線內端與電熱絲電連接，所述的真空室艙體包括有底艙和底艙密封蓋，該底艙內設置有橫截面為正八邊形且上端開口的真空腔，所述的底艙密封蓋密封蓋設于底艙的真空腔上端，所述的底艙的側壁呈正八邊形分布，該底艙側壁包括有相互對稱的一對第一側壁，以及與第一側壁相鄰并相互平行的一對第二側壁和一對第三側壁，余下的一對側壁為第四側壁，所述的兩個第一側壁上分別對應設置有刻度尺，其中一只第一側壁對應于刻度尺的上方水平設置有燕尾槽，所述的燕尾槽上水平滑移設置有滑移座，該滑移座上固定設置有與另一第一側壁相垂直的激光筆，

所述的底艙側壁上還設置有與紅外加熱管相對應的接線機構，該接線機構包括有導電螺栓、導電接線柱、絕緣底座、絕緣蓋和壓線螺栓，絕緣底座和絕緣蓋分別置于底艙側壁的內外兩側，所述的絕緣底座、底艙側壁和絕緣蓋上設置有相互同軸的有第一中心孔、第二連接孔和第三中心孔，所述的導電接線柱的外端面內設置有與壓線螺栓螺紋配合的第一內螺孔，該導電接線柱內端面內設置有與第一中心孔同軸的第二內螺孔，該導電接線柱相對于第一內螺孔和第二內螺孔的內端之間橫向設置有電源線接線孔，電源線接線孔的上下兩端分別與第一內螺孔和第二內螺孔的內端相連通，導電螺栓包括有導電螺栓頭和導電螺桿，所述的導電螺栓的導電螺桿依次從第一中心孔、第二連接孔和第三中心孔穿出且該導電螺桿的外端螺紋固定于導電接線柱的第二內螺孔中，并使得絕緣底座和絕緣蓋壓緊固定于底艙側壁上，電熱絲導電壓接固定于導電螺栓頭上，電源線插入到電源線接線孔中，并通過壓線螺栓的內端將電源線導電固定于導電接線柱上。

進一步設置是還包括有固定于底艙側壁外的絕緣外蓋，該絕緣外蓋內設置有依次與導電接線柱和絕緣蓋套配的承插腔，絕緣外蓋相對于承插腔的軸向外端設置有與第一內螺孔相同軸對應的絕緣外蓋第一通孔，所述的壓線螺栓的螺栓頭沉頭置于該絕緣外蓋第一通孔內，所述的絕緣外蓋上相對于承插腔的兩側壁上設置有與電源線接線孔兩端相對應的側連接孔。

進一步設置是所述的導電螺栓頭與絕緣底座之間的導電螺桿上套設有一對導電墊片，電熱絲引線壓緊電連接于該一對導電墊片之間。

本實用新型的優點是：

（1）鍍膜真空室在進行鍍膜處理時，將一對磁控濺射靶分別置于一對第一側壁邊，然后，利用驅動滑移座移動并通過激光筆發出的光線在第一側壁的刻度尺上進行準確定位，從而保障一對磁控濺射靶的對稱分布，提高了鍍膜作業的質量，

（2）本設置的接線機構，還具有以下優點：

電熱絲直接緊密連接于導電螺栓上，連接方便，安裝快捷，在接入電源線時對電熱絲這一端的固定定位無剪切力，保證了電熱絲接頭連接的可靠性，同時整個接線機構無導電體外露，絕緣、安全可靠。

下面結合說明書附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步介紹。

附圖說明

圖1?本實用新型具體實施方式立體圖；

圖2?本實用新型具體實施方式隱藏底艙密封蓋后的立體圖；