[實用新型]一種硅棒熔區劃分裝置

有效

• 申請號: 201520123548.5
• 申請日: 2015-03-03
• 公開（公告）號: CN204461850U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 史攀峰;翁博豐;程遠梅;白麗麗;楊濤
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于標記裝置領域，具體涉及一種硅單晶樣棒熔區劃分裝置。

背景技術

在進行直拉和區熔單晶電阻率、少數載流子壽命、C、O及施受主等雜質檢測工作時，需要根據雜質分凝規律選取適當的熔區，進而進行有規律的研究，要求硅棒從頭至尾標出至少12個熔區，每個熔區長度13±1mm。目前所用的簡易泡沫熔區標記裝置，容易變形、易吸附環境中塵埃物且時間過長容易磨損。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種操作方便、效率高、耐用、無污染且成本低的硅單晶棒熔區標記裝置。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種硅棒熔區劃分裝置，包括：

一作為支撐體的長方體底座，一帶有鏤空刻線的塑料軟膜，以及一彈簧壓片和一固定裝置；所述彈簧壓片通過固定裝置將塑料軟膜連接在長方體底座上。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述長方形底座為PTFE或木質實板。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述彈簧壓片中彈簧的最大形變量為L，d/4≤L＜d/2，其中d為硅棒直徑。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述塑料軟膜為有韌性、透明的塑料片。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述塑料軟膜為PET、PC或PVC材料中的任意一種。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述固定裝置為螺絲、螺釘或螺栓中的任意一種。

通過上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

首先，本實用新型改善了檢測環境：易于清理，直接在刻線下標記熔區，較之前目測對應刻線而言準確度更高，標記速度更快；

其次，本實用新型中，使軟模與硅棒徑向表面充分接觸，硅棒被包裹的表面積大于1/2圓周。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的長方體底座的結構示意圖。

圖3為本實用新型的塑料軟模的結構示意圖。

圖4為本實用新型的彈簧壓片的結構示意圖。

圖中數字和字母所表示的相應部件名稱：

1、長方體底座；2、塑料軟模；3、彈簧壓片；4、固定裝置。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

參照圖1，圖2，圖3以及圖4所示，一種硅棒熔區劃分裝置包括長方體底座1，帶有鏤空刻線的塑料軟膜2，不銹鋼材料的彈簧壓片3及固定裝置4；

固定裝置4將彈簧壓片3、塑料軟模2緊固在長方體底座1上，固定位置須在底座軸線一側的軸線附近處，以免硅棒在標記熔區時活動位置受限。

固定裝置4可為螺絲、螺釘或螺栓之一；長方形底座1可為PTFE或木質實板。

為確保刻線覆蓋于樣棒的合適位置，所述彈簧壓片3中彈簧的最大形變量L，d/4≤L＜d/2，其中d為硅棒直徑，這樣能使硅棒至少1/2圓周表面被刻線軟模緊貼，進而使熔區標記線和熔區編號能清晰完整的印在硅棒上。本實用新型具有操作性強、耐用、低成本、無污染等各項優點。

優選地，所述帶有鏤空刻線的塑料軟膜2為有韌性透明的塑料片。

進一步地，所述塑料軟膜2為PET、PC或PVC之一材料的塑料片。

具體操作時，只要拉伸軟模即可卷住任何尺寸的硅單晶樣棒。可通過以下方式實現：一個接近(或略小于)硅棒長度的長方體底座，沿長方體底座長度一側附有用螺釘固定的彈簧片，彈簧片用來將透明、帶有韌性的軟模壓實，將硅棒壓緊。其中須使軟模與硅棒徑向表面充分接觸，硅棒被包裹的表面積大于1/2圓周。

進行熔區標記，操作者將硅棒置于塑料軟模2上，并緊靠彈簧壓片3，一手將塑料軟模2向后翻卷裹緊硅棒壓在彈簧壓片3背面，另一只手用記號筆或記號刷在鏤空刻線處標注即可標記出清晰完整的熔區標記線和熔區編號。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。