[實用新型]蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置

有效

• 申請號: 201520122837.3
• 申請日: 2015-03-03
• 公開（公告）號: CN204548774U
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 張東嶺;張學偉;汪行;張文慧
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: B65D25/02
• 分類號: B65D25/02;B65D81/26
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

技術領域

本實用新型涉及顯示器件的加工制造領域，尤其是一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置。

背景技術

在液晶顯示器件例如陣列基板和彩色濾光片基板的制作過程中，需要通過多道光刻制程在玻璃基板上制作形成各種薄膜，每道光刻制程通常包括涂布光阻、曝光、顯影、蝕刻、剝離光阻等多道工藝。其中，在蝕刻工藝中，為了獲得理想的加工效果，蝕刻液的濃度需要保證在一定的范圍內，因此就需要在制造過程中通過濃度控制系統時刻對蝕刻液的濃度進行檢測與控制。

通常，檢測藥劑盛放于儲存裝置的內桶中，通過送液設備將檢測藥劑送往蝕刻設備內對蝕刻液進行檢測。為了防止藥液的揮發對外界環境造成的影響及保護檢測藥劑，在內桶的外部還需要設置一個保護外殼。為了便于觀察內桶中檢測藥劑的剩余量，保護外殼一般由透明且材質較軟的PVC板制成。然而隨著內桶中檢測藥劑的不斷揮發，保護外殼的內壁會發生嚴重的霧化，阻擋工作人員的視線，使工作人員不易把握內桶中檢測藥劑的剩余量，不能在檢測藥劑剩余量過低時及時對檢測藥劑進行補充。一旦內桶中檢測藥劑的剩余量過低，就會使濃度控制系統發生異常，從而對液晶顯示器的質量造成影響。為了清除保護外殼內壁上的霧氣，需要經常打開保護外殼對儲存裝置進行清理，這樣不僅降低了生產效率，同時也容易造成藥劑的揮發，對工作人員造成危害。

在現有技術中，一般會在保護外殼上增設一抽氣孔，通過抽氣泵或排風扇等將保護外殼內的水氣抽出，然而此種方法因為空氣流通的不暢而不能很好地解決霧化現象。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置，該儲存裝置可以防止在內壁上生成霧氣，以便準確地把握內桶中檢測藥劑的剩余量，實現對內桶中檢測藥劑進行準確及時的更換。

本實用新型實施例提供了一種蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置，包括儲存液體的內桶及罩于所述內桶外的保護外殼，所述保護外殼的側壁上開設有抽氣孔與進氣孔，所述抽氣孔與抽氣裝置相連，所述進氣孔所在的側壁上設置有加強板，所述加強板增加所述進氣孔周圍保護外殼的強度。

進一步地，所述抽氣孔的開口位置位于所述保護外殼側壁的上部，所述進氣孔的開口位置位于所述抽氣孔相對側的所述保護外殼側壁的下部。

進一步地，所述加強板上形成有與所述進氣孔形狀相同的豁口，所述加強板在所述進氣孔的周邊位置通過粘性材料與所述保護外殼相連。

進一步地，所述加強板通過螺栓固定于所述保護外殼的側壁上。

進一步地，所述加強板的截面為倒置的L形，包括固定于所述保護外殼頂部的頂部加強板及通過所述粘性材料粘接于所述進氣孔周邊的側壁加強板。

進一步地，所述加強板與所述保護外殼之間，除通過粘性材料連接區域以外的部分，存在有間隙。

進一步地，所述進氣孔與氣體輸送裝置相連。

進一步地，所述保護外殼頂部的內表面設有傾斜狀的導水板，所述保護外殼的底部與所述導水板的最低位置相對應處設有收容槽，所述收容槽與所述導水板的最低位置處相對應。進一步地，所述導水板從靠近所述進氣孔的一側向靠近所述抽氣孔的一側傾斜，所述導水板的下表面與所述保護外殼底部之間的距離，從遠離所述抽氣孔的一側到靠近所述抽氣孔的一側逐漸變小。

進一步地，所述導水板靠近所述抽氣孔一側邊緣的高度高于所述抽氣孔的上邊緣或與抽氣孔的上邊緣平齊。

綜上所述，在本實用新型中，通過增加進氣孔及在進氣孔周圍增設加強板，使儲存裝置內部形成一完整的空氣循環，通過該循環將儲存裝置中的水氣從保護外殼中排出，避免了保護外殼上霧氣的產生，使得操作人員能夠更清楚地觀察到儲存裝置內部的情況，以便及時添加檢測藥液，從而能夠準確地監控蝕刻液的濃度，同時由于基本不用清理保護外殼上的霧氣，因此也能夠提高生產效率，保護工作環境。進一步地，通過導水板及收容槽的設置，使得凝結于保護外殼頂部的冷凝水能夠通過導水板流入收容槽內，減少對保護外殼底部積水的清理次數。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1為本實用新型的一個實施例中蝕刻液濃度檢測藥劑的儲存裝置結構示意圖。

圖2為圖1所示儲存裝置的左視圖。

圖3為本實用新型另一實施例的結構示意圖。

具體實施方式