[實用新型]真空鎖

有效

• 申請號: 201520122578.4
• 申請日: 2015-03-02
• 公開（公告）號: CN204533809U
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發明（設計）人: 楊娜;王崧
• 申請（專利權）人: 北京精誠鉑陽光電設備有限公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

技術領域

本實用新型涉及真空設備領域，具體而言，涉及一種真空鎖。

背景技術

在光伏電池領域，應用平板式連續傳輸型真空設備對襯底進行鍍膜工藝，用于電池不同層導電膜的制備。導電膜制備過程是在真空環境下進行的，所以需要將襯底傳輸到真空設備中，鍍膜工藝完成后，再將襯底傳輸到真空室外。真空設備上均設置有真空鎖，真空鎖的作用是隔絕大氣與真空室來保證真空設備的真空度。設備工作時，根據生產效率和工作節拍的要求需要頻繁的打開、關閉真空鎖，真空鎖的能否持續穩定的開、關是滿足生產需求的其中一個關鍵因素。

如圖1所示，真空鎖的閥板結構，此結構中由銷軸3將兩側的連接架2連接，及連接架2與旋轉軸1連接組成。其結構缺點為：銷軸在這個結構中只起到與連接架2的連接作用；如果真空鎖在長期使用后，閥板發生形變時則不能進行微調節來彌補，造成真空鎖閥板關閉時密封面與真空室密封面不平行，閥板關不嚴，真空鎖密封性變差，密封面漏氣。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種真空鎖，以解決現有技術中真空鎖使用過程中密封性變差的問題。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種真空鎖，包括旋轉軸、與旋轉軸連接的翻轉結構和設置在翻轉結構上的閥板，翻轉結構包括：安裝支架，安裝支架連接在旋轉軸上，閥板設置在安裝支架上，并可隨安裝支架翻轉至打開位置或密封位置；自調節球軸，自調節球軸穿設在安裝支架上，閥板連接在自調節球軸上，并通過自調節球軸設置在安裝支架上，閥板與自調節球軸球面配合使閥板與密封面平行。

進一步地，真空鎖還包括固定板，固定板固定設置在閥板上，固定板上設置有安裝通孔，自調節球軸穿設在安裝通孔內。進一步地，自調節球軸外套設有軸套。

進一步地，安裝支架包括：第一安裝架，第一安裝架固定設置在旋轉軸上；第二安裝架，第二安裝架間隔于第一安裝架且固定設置在旋轉軸上，自調節球軸可轉動地設置在第一安裝架和第二安裝架上。

進一步地，自調節球軸包括：第一安裝桿，第一安裝桿與第一安裝架配合；球型體，球型體連接在第一安裝桿的一端；第二安裝桿，第二安裝桿與第一安裝桿同軸設置，且連接在球型體上，第二安裝桿與第二安裝架配合。

進一步地，真空鎖還包括限定結構，限定結構抵接在閥板上，并限定閥板與密封面平行。

進一步地，限定結構為多個，其中一半限定結構組成第一限定組，另一半限定結構組成第二限定組，第一限定組與第二限定組位于自調節球軸的軸線的兩側。

進一步地，限定結構包括：彈性抵接件，彈性抵接件設置在安裝支架上；鎖緊件，鎖緊件設置在安裝支架上，彈性抵接件抵接在鎖緊件與閥板之間。

進一步地，安裝支架上設置有限定通孔，限定結構與限定通孔一一對應地設置，限定通孔為螺紋孔，鎖緊件與限定通孔螺紋連接。

進一步地，真空鎖還包括支撐件，支撐件上固定設置有潤滑套，旋轉軸可轉動地設置在潤滑套內，潤滑套上設置有潤滑槽，潤滑槽內設置有潤滑介質。

應用本實用新型的技術方案，真空鎖包括旋轉軸、與旋轉軸連接的翻轉結構和設置在翻轉結構上的閥板，翻轉結構包括安裝支架和自調節球軸，安裝支架連接在旋轉軸上，閥板設置在安裝支架上，并可隨安裝支架翻轉至打開位置或密封位置；自調節球軸31穿設在安裝支架上，閥板20連接在自調節球軸上，并通過自調節球軸設置在安裝支架上，閥板與自調節球軸球面配合使閥板與密封面平行。閥板通過自調節球軸與安裝支架連接，這樣可以利用自調節球軸的自調節性，使得閥板的安裝狀態自如，保證長期使用過程中閥板的密封平面與真空室密封平面之間平行，進而保證了閥板在封閉真空室時的密封性良好，提高了使用壽命和工作效果。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了現有技術中的真空鎖的結構示意圖；

圖2示出了根據本實用新型的實施例的真空鎖的結構示意圖；以及

圖3示出了圖2中B-B的剖視圖；

圖4示出了圖2中的C-C的剖視圖；

圖5示出了根據本實用新型的實施例的真空鎖的局部剖視圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標記：