[實用新型]氣體傳感器

有效

• 申請號: 201520113958.1
• 申請日: 2015-02-17
• 公開（公告）號: CN204495713U
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 羅雯雯
• 申請（專利權）人: 蘇州諾聯芯電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/3504
• 分類號: G01N21/3504
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種紅外氣體傳感器，其特征在于：包括：

第一硅基晶圓，所述第一硅基晶圓間隔設有位于同一側的紅外光源和紅外探測器；

與所述第一硅基晶圓鍵合的雙拋的第二硅基晶圓，所述第二硅基晶圓上具有濾光鏡、分別與所述紅外光源和所述紅外探測器相對應的第一氣體通道和第二氣體通道，所述濾光鏡位于第二氣體通道的開口處或內部；

與所述第二硅基晶圓背離所述第一硅基晶圓的一側鍵合的第三硅基晶圓，所述第三硅基晶圓朝向所述第二硅基晶圓的一側設有氣體腔室，所述氣體腔室具有分別與兩個所述氣體通道相對應的兩個端部、與外界連通的兩個氣體通孔。

2.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述氣體腔室具有分別與兩個所述氣體通道相對應以改變紅外光傳播方向的傾斜面。

3.根據權利要求2所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述傾斜面與所述第三硅基晶圓的表面的夾角介于40°~?58°之間。

4.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述氣體腔室的內壁設有反射薄膜。

5.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述氣體腔室在平行于所述第三硅基晶圓表面的平面內的形狀為直線形、折線形或者曲線形。

6.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述紅外光源采用微加工技術制作的基于微加熱器結構的廣譜光源或窄譜光源，所述濾光鏡為采用微加工技術制作的濾光鏡。

7.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述紅外光源的發射面、所述紅外探測器的吸收面均平行于所述第一硅基晶圓的表面；所述濾光鏡的透射面平行于所述第二硅基晶圓的表面。

8.根據權利要求1所述的紅外氣體傳感器，其特征在于：所述第一硅基晶圓設有所述紅外光源和所述紅外探測器的表面、所述第二硅基晶圓的兩個表面、所述第三硅基晶圓設有所述氣體腔室的表面上均具有用于鍵合的介質層。