[實用新型]掩模板定位裝置有效
| 申請號： | 201520111363.2 | 申請日： | 2015-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN204406033U | 公開（公告）日： | 2015-06-17 |
| 發明（設計）人： | 黃金 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模板 定位 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種掩模板定位裝置，其特征在于，包括在一腔體中設置的掩模定位板，一掩模板置于所述掩模定位板上，在所述腔體外設置有檢測掩模板位置的探測器，所述探測器還連接至一腔體控制器。
2.如權利要求1所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述掩模板為矩形，具有外圍區，所述外圍區中設置有至少三個透光區。
3.如權利要求2所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述透光區為方形，邊長為4mm-6mm。
4.如權利要求3所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述探測器的數量至少為3個。
5.如權利要求4所述的掩模板定位裝置，其特征在于，至少三個透光區分別對應一個探測器，且所述探測器位于所對應的透光區的正上方。
6.如權利要求5所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述至少3個探測器發出的光斑分別投射在所對應的透光區，所述光斑距離透光區四邊的最小距離皆為2mm。
7.如權利要求5所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述至少3個探測器發出的光斑分別投射在所對應的透光區，所述光斑距離透光區四邊的最小距離皆為1mm。
8.如權利要求1所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述掩模板定位裝置還包括顯示屏，所述顯示屏與所屬探測器相連接。
9.如權利要求1所述的掩模板定位裝置，其特征在于，所述腔體包括透明玻璃窗口，所述探測器設置于所屬透明玻璃窗口上。
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