[實用新型]克努曾箱蒸發源裝置

有效

• 申請號: 201520105259.2
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN204714898U
• 公開（公告）日: 2015-10-21
• 發明（設計）人: 胡小鵬;薛其坤;陳曦;康志新;李魯新
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C30B25/02
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 哈達

1.一種克努曾箱蒸發源裝置，其包括：

一克努曾箱蒸發源，包括一坩堝、一固定架以及一加熱絲結構，所述固定架為籠狀結構，環繞所述坩堝設置，所述加熱絲通過所述固定架固定，并環繞所述坩堝設置；

一電動擋板裝置，該電動擋板裝置包括一擋板支撐桿、一擋板、一永久磁鐵具有兩個磁極、一第一電磁線圈以及一第二電磁線圈，所述擋板以及永久磁鐵分別設置于所述擋板支撐桿的相對兩端，所述克努曾箱蒸發源靠近所述擋板固定于所述擋板支撐桿，并相對于所述擋板支撐桿轉動，所述擋板與所述坩堝相對設置，所述第一電磁線圈以及所述第二電磁線圈分別所述永久磁鐵的兩個磁極相對設置。

2.如權利要求1所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述固定架包括一第一絕熱支撐板、一第二絕熱支撐板以及多個絕熱支撐桿，所述多個絕熱支撐桿間隔設置，并固定于所述第一絕熱支撐板與所述第二絕熱支撐板之間，圍成一個收納空間。

3.如權利要求2所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述第一絕熱支撐板具有一通孔，所述坩堝穿過該通孔設置于所述收納空間。

4.如權利要求3所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，其特征在于，所述多個絕緣支撐桿圍繞所述坩堝對稱。

5.如權利要求3所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述加熱絲結構環繞所述多個絕熱支撐桿形成一螺旋結構，該螺旋結構通過所述多個絕熱支撐桿支撐。

6.如權利要求3所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述坩堝具有一開口，以及一材料收納部，所述材料收納部設置于所述收納空間。

7.如權利要求6所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述坩堝的開口與所述擋板相對設置。

8.如權利要求1所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述擋板由所述擋板支撐的轉動帶動轉動。

9.如權利要求1所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述第一電磁線圈和所述第二電磁線圈均由鐵芯以及纏繞在鐵芯表面的線圈組成，所述第一電磁線圈線圈纏繞方向與所述第二電磁線圈纏繞方向相反。

10.如權利要求1所述的克努曾箱蒸發源裝置，其特征在于，所述加熱絲結構由多個加熱絲串聯或并聯組成。