[實用新型]一種絲網印刷對準系統有效

申請號：	201520104928.4	申請日：	2015-02-13
公開（公告）號：	CN204749477U	公開（公告）日：	2015-11-11
發明（設計）人：	劉益芳;蔡建雄;忻枕梁;周如海;王凌云;吳德志;孫道恒	申請（專利權）人：	廈門大學
主分類號：	B41F15/14	分類號：	B41F15/14
代理公司：	廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218	代理人：	巫麗青
地址：	361000 ***	國省代碼：	福建;35
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種絲網印刷對準系統
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及絲網印刷設備技術領域，具體一種絲網印刷對準系統，實現微米級對準精度。

背景技術

玻璃漿料鍵合具有熱壓鍵合過程簡單、鍵合材料可選范圍大、對鍵合表面平整性無特殊要求并且可以包容金屬引線等優點，在微陀螺儀、RF傳感器、場發射器件、壓力傳感器等的封裝中得到了廣泛的應用。玻璃漿料鍵合過程包括玻璃漿料的絲網印刷、預燒結和熱壓鍵合。其中，絲網印刷品質的好壞和對準精度的高低直接決定了玻璃漿料鍵合的成功率。

在絲網印刷過程中，預印刷的玻璃漿料必須準確印刷至圖案化硅基底的指定位置(如凹槽與凸臺之間的中間位置)，這就需要對絲網版的圖案與硅基底上的圖案進行精確對準。由于玻璃漿料必須印刷到線寬為幾百微米的硅基底圖案上，而且位置偏差限制在幾十微米范圍之內，則要求對準系統的對準精度在幾微米的數量級。

國外的一些知名印刷機械制造商,如德國海德堡、曼羅蘭、高寶，日本的小森等逐漸在印刷機采用全自動套準和檢測技術,對印品質量和生產效率的提高起到極大的推動作用,其中采用的全自動套準和檢測技術通常是帶有反饋功能的機器視覺系統,并具有一定的通用性，但結構復雜，成本高昂，而目前公知的低精度對準系統又無法滿足微米級精度的要求。

實用新型內容

為了克服現有的絲網印刷機的對準系統對準精度低和/或結構復雜的不足,本實用新型提供了一種新型的絲網印刷對準系統，該對準系統不僅能實現微米級的對準要求，而且能方便地安裝和拆卸。

本實用新型還提供了一種絲網印刷對準方法，運用于上述系統，起到良好的對準效果。

為了達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案是，一種絲網印刷對準系統，包括絲網印刷機，所述絲網印刷機上設有絲網版和升降臺，所述絲網版上設有夾具，所述夾具用于將成像及放大相機垂直安裝在絲網版上，所述升降臺上設有XYR微動平臺，所述XYR微動平臺上設有真空吸盤，所述真空吸盤用于吸附承印物，所述承印物對應于絲網版下方，所述絲網版上設有第一定位標志，所述承印物上設有相對應的第二定位標志，所述夾具用于調節成像及放大相機相對絲網版的高度和二維平面坐標，所述XYR微動平臺用于調節承印物的二維平面坐標并旋轉承印物，所述升降臺用于調節承印物的高度，成像及放大相機采集絲網版和承印物上的第一、第二定位標志，并通過XYR微動平臺和升降臺調節承印物的位置和方向，使得第一定位標志與第二定位標志精確對準，實現承印物落料區域與絲網版上的圖案精確對準。

進一步的，所述真空吸盤通過導氣管與氣泵連接，所述真空吸盤用于吸附放置在真空吸盤上的承印物，避免承印物因XYR微動平臺或升降平臺的運動而移位，所述真空吸盤可以吸附不同尺寸的承印物。

進一步的，所述成像及放大相機包括CCD相機，所述CCD相機具有一工業鏡頭。CCD相機是以電荷耦合器件作為光敏感器和光電轉換器的遙感用相機，CCD相機的成像信號通過USB接口輸出。

進一步的，所述工業鏡頭靠近絲網版的末端設有可以充電的環形光源。

進一步的，所述升降臺、XYR微動平臺均通過伺服電機驅動。

一種絲網印刷對準方法，運用于上述絲網對準系統，包括以下步驟：

對準步驟一：對準定位時，成像及放大相機采集絲網版和硅基底上的第一、第二定位標志，使絲網版上的粗定位標志和硅基底上的粗定位標志重合，實現初步對準；

對準步驟二：平行移動夾具的位置，使定位相機采集到同一直線上的不同絲網版上的粗定位標志和硅基底上的粗定位標志，根據圖像顯示的絲網版上的粗定位標志和硅基底上的粗定位標志的偏差手動調節XYR微動平臺，使絲網版上的粗定位標志和硅基底上的粗定位標志重合；

對準步驟三：通過細調，使二者的精定位標志重合，實現精確對準。

本實用新型系統通過采用上述技術方案，與現有技術相比，具有如下優點：

(1)本實用新型可以在沒有對準系統的絲網印刷機上實現簡便的安裝和拆卸。

(2)本實用新型能夠準確地找到漿料定位標志，并達到微米級的對準精度。

(3)本實用新型特別適用于多晶、鑄造單晶堿腐蝕硅片及拋光硅片兩次及多次絲網印刷的過程。