[實用新型]一種用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520104669.5
• 申請日: 2015-02-12
• 公開（公告）號: CN204758456U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳進新;王宇;吳曉斌;謝婉露;王魁波;崔惠絨
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號: G01N17/00
• 分類號: G01N17/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，所述極紫外輻照材料測試設(shè)備包括EUV光源腔室(A)、收集鏡腔室(B)和樣品腔室(C)，其特征在于，所述抽真空系統(tǒng)包括：

分別連接到所述EUV光源腔室(A)、收集鏡腔室(B)和樣品腔室(C)的真空泵單元和真空計單元；

連接于所述EUV光源腔室(A)和收集鏡腔室(B)之間的第一插板閥(A3)；

連接于所述收集鏡腔室(B)和樣品腔室(C)之間的第二插板閥(B3)；

第一氣源(A4)和第二氣源(B4)，分別連通所述第一插板閥(A3)和第二插板閥(B3)，用于提供EUV輻照的緩沖氣體；

氣體分析單元(C5)，其與所述樣品腔室(C)連接。

2.如權(quán)利要求1所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述真空泵單元中的至少一個包括分子泵(A11、B11、C11)和機械泵(A12、B12、C12)，分子泵與相應(yīng)腔室(A、B、C)之間通過插板閥(A13、B13、C13)連接，在分子泵和機械泵之間用三通連接，三通的第三端口通過閥門連接到相應(yīng)腔室上。

3.如權(quán)利要求1所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述真空計單元中的至少一個包括第一真空計(A21、B21、C21)和第二真空計(A22、B22、C22)，第一真空計和第二真空計具有不同的量程。

4.如權(quán)利要求1所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述第一氣源(A4)和第二氣源(B4)中的至少一個包括氣瓶(A41、B41)、減壓閥門(A42、B42)和截止閥門(A43、B43)，氣瓶(A41、B41)依次通過減壓閥門(A42、B42)和截止閥門(A43、B43)與相應(yīng)插板閥(A3、B3)連接，所述截止閥門(A43、B43)和相應(yīng)插板閥(A3、B3)之間連接有流量控制單元。

5.如權(quán)利要求2至4中任一項所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體分析單元(C5)通過閥門(B5)與所述收集鏡腔室(B)的真空泵單元(B1)相連。

6.如權(quán)利要求5所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體分析單元(C5)包括氣體分析儀(C51)、流量調(diào)節(jié)閥(C52)和第三真空計(C53)，所述氣體分析儀(C51)和所述樣品腔室(C)之間通過所述流量調(diào)節(jié)閥(C52)連接，所述的第三真空計(C53)連接到所述氣體分析儀(C51)與所述流量調(diào)節(jié)閥(C52)之間的管道上。

7.如權(quán)利要求6所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述收集鏡腔室(B)的真空泵單元包括分子泵(B11)和機械泵(B12)，該分子泵與收集鏡腔室(B)之間通過插板閥(B13)連接，在分子泵(B11)和機械泵(B12)之間用三通連接，三通的第三端口通過閥門連接到收集鏡腔室(B)；

所述氣體分析儀(C51)通過閥門(B5)接入所述插板閥(B13)和所述分子泵(B11)之間。

8.如權(quán)利要求5所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體分析儀(C51)為四極質(zhì)譜計。

9.如權(quán)利要求6所述的用于極紫外輻照材料測試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)閥(C52)為面密封閥。