[實用新型]測試板裝置及測試系統

有效

• 申請號: 201520100596.2
• 申請日: 2015-02-11
• 公開（公告）號: CN204422717U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 鄒春梅;程波
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種測試板裝置及測試系統。

背景技術

芯片(Chip)在制備完成后，通常會進行相應的性能測試。現有技術中，測試均是將待測芯片放置在測試板上，再通過引腳將待測芯片內的待測結構與測試機(Tester)相連，從而對該待測結構進行相應的性能測試。其中，待測結構通常包括多個靜態隨機存儲器區(SRAM)及測試單元(Test?Key)。通常情況下，測試板上設有固定個數的測試通道(Channel)，可以測試多個待測結構。

然而，芯片需要進行封裝(Package)，通常芯片的某些性能需要在封裝過后才能對芯片進行測試，該種測試稱之為芯片封裝交互影響(Chip?Package?Interaction，CPI)。CPI是半導體制造中芯片可靠性的一個十分重要的考慮因素。隨著芯片后段采用銅互連線及低k值介質層等先進工藝，對CPI的要求也越來越高。為了測試封裝之后芯片封裝交互影響，同樣需要采用上述測試板及測試機對封裝后的芯片進行相應的測試。

然而，上述測試板僅支持一對一的測試，例如一個測試通道僅能夠對應一個測試盤(Pad)或引腳(Pin)。但是對于個數較多的引腳、測試盤等的測試項目，例如CPI，傳統的測試板中測試通道個數遠遠不夠。為此，現有技術中，若需要進行測試CPI測試，則需要在測試完一組測試通道之后，將待測芯片拔出、并且將各引腳線拆除，重新進行布線、插線，從而才能夠進行下一組測試通道的測試。這樣無疑增加了人力、浪費了測試時間，導致測試效率低下，并且來回的插拔待測芯片以及引腳線再重新進行測試，極易導致待測芯片發生靜電放電(ESD)，而現有技術中的測試板中并不包含靜電保護，因此靜電放電嚴重時容易導致待測芯片被靜電擊穿，從而失去作用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種測試板裝置及測試系統，能夠自動改變連接方式，從而能夠利用現有的測試通道實現多種測試。

為了實現上述目的，本實用新型提出了一種測試板裝置，用于將具有多個測試結構的待測芯片連接至具有多個測試通道的測試機中進行測試，所述測試板裝置包括：第一引腳、第二引腳及連接在所述第一引腳和第二引腳之間的電路切換單元，所述電路切換單元包括切換開關和切換繼電器，所述切換開關連接在所述第一引腳和第二引腳之間，所述切換繼電器與所述測試機連接，并控制所述切換開關在一個測試通道中的多個測試結構之間進行切換。

進一步的，在所述的測試板裝置中，還包括與所述切換開關連接的靜電保護單元，所述靜電保護單元設置于所述第一引腳及第二引腳之間。

進一步的，在所述的測試板裝置中，所述靜電保護單元為限流電阻，所述限流電阻的一端連接在所述第一引腳及第二引腳之間，所述限流電阻的另一端接地。

進一步的，所述電路切換單元包括若干個切換開關和切換繼電器，一個測試通道對應三個切換開關和三個切換繼電器，所述三個切換開關分別為第一開關、第二開關和第三開關，所述三個切換繼電器分別為第一繼電器、第二繼電器和第三繼電器，所述第一繼電器控制第一開關，所述第二繼電器控制第二開關，所述第三繼電器控制第三開關。

進一步的，在所述的測試板裝置中，所述測試機的一個測試通道通過總控制回路、第一控制回路、第二控制回路、第一支路、第二支路、第三支路及第四支路連接所述待測芯片的四個測試結構，其中，四個測試結構分別連接所述第一支路、第二支路、第三支路及第四支路，連接在所述總控制回路中的第一開關在第一控制回路和第二控制回路之間切換以選擇第一控制回路或第二控制回路與總控制回路連接，連接在所述第一控制回路中的第二開關在第一支路和第二支路之間切換以選擇第一支路或第二支路與第一控制回路連接，連接在所述第二控制回路中的第三開關在第三支路及第四支路之間切換以選擇第三支路或第四支路與第二控制回路連接，所述第一開關、第二開關和第三開關分別由三個切換繼電器控制。

進一步的，本實用新型還提出了一種測試系統，包括：測試板裝置及具有多個測試通道的測試機，所述測試板裝置用于將一具有多個測試結構的待測芯片連接至測試機中進行測試，所述測試板裝置包括第一引腳、第二引腳及連接在所述第一引腳和第二引腳之間的電路切換單元，所述第一引腳連接所述測試通道，所述第二引腳連接所述測試結構，所述電路切換單元包括切換開關和切換繼電器，所述切換開關連接在所述第一引腳和第二引腳之間，所述切換繼電器與所述測試機連接，并控制所述切換開關在一個測試通道中的多個測試結構之間進行切換。