[實用新型]二極管端面泵浦全固態激光器

有效

• 申請號: 201520091297.7
• 申請日: 2015-02-10
• 公開（公告）號: CN204497563U
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 東芳;李揚;朱憶龍;陳義紅;陳義兵;易光純;賀誼
• 申請（專利權）人: 武漢新特光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/0941
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 李曉林

技術領域

本實用新型涉及激光器技術領域，具體涉及一種二極管端面泵浦全固態激光器。

背景技術

高平均功率全固態調Ｑ355nm與532nm激光器在微電子、激光加工、光刻技術、精密材料加工等領域應用廣泛，如在電路板加工與立體印刷方面。電路板加工要求紫外激光在高重復頻率時提供大于?300μJ的脈沖能量；立體印刷技術要求的是平均功率(一般在?0.4～1Ｗ之間)；而一般的激光材料加工要求的平均功率在?5～10Ｗ水平。

紫外光的短波長對于微加工應用有以下兩個優越性：

第一，較短的波長能夠加工更小的部件。光束的衍射現象是限制加工部件最小尺寸的主要因素，最小可達到的聚焦點的直徑隨著波長的增加而線性增加。

第二，高能量的光子可以直接破壞材料的化學鍵。紫外光加工材料過程稱為“光蝕”效應，高能量的光子直接破壞材料的化學鍵，是“冷”處理過程，熱影響區域微乎其微；相比之下，可見光和紅外激光器利用聚焦到加工部位的熱量來熔化材料，熱量經過傳導會影響到周圍的材料，產生熱影響區域。

現有技術中大部分的端面泵浦紫外激光器都是腔內和頻方式。如何將激光諧振腔內的紫外光導出腔外，是個值得探討的問題。有些設計直接在腔內加導出鏡，將532nm和355nm同時導出，由于鏡片上需要鍍雙反射膜，膜層較厚，鏡片很容易損傷。另有在諧振腔內加一小石英棱鏡或將三倍頻晶體做布儒斯特角切割將三波長分離開來，但這種方法使激光器的調節難度大為增加。

鑒于此，克服以上現有技術中的缺陷，提供一種新的能夠同時輸出兩種不同波長激光的激光器成為本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的上述缺陷，提供一種二極管端面泵浦全固態激光器，能夠同時輸出兩種不同波長激光，調節簡便。

本實用新型的目的可通過以下的技術措施來實現：

一種二極管端面泵浦全固態激光器，與現有技術相比，其不同之處在于，該激光器包括：

激光諧振腔，由第一全反鏡、第二全反鏡和至少一個折疊鏡組成；

布置于所述激光諧振腔內的激光晶體；

布置于所述激光諧振腔內的第一倍頻晶體和第二倍頻晶體；

布設于所述第一倍頻晶體和第二倍頻晶體之間的雙波長波片；

布置于所述激光諧振腔內的輸出鏡；

泵浦光源，所述泵浦光源通過泵浦光照射所述激光晶體泵浦所述激光晶體以產生激光；以及

至少一個光學耦合系統，所述光學耦合系統設置于泵浦光源和激光諧振腔之間；

其中，激光晶體產生的激光在激光諧振腔內震蕩并通過第一倍頻晶體和第二倍頻晶體進行倍頻以產生兩個不同波長的輸出激光分別經輸出鏡和折疊鏡射出。

優選地，所述激光諧振腔還包括一Q調制元件。

優選地，所述激光諧振腔被構造為L型，所述激光晶體和所述Q調制元件依次設于所述折疊鏡和所述第一全反鏡之間，輸出鏡、第一倍頻晶體、雙波長波片和第二倍頻晶體依次設于所述折疊鏡和所述第二全反鏡之間。

優選地，所述激光諧振腔被構造為V型，所述激光晶體和所述Q調制元件依次設于所述折疊鏡和所述第一全反鏡之間，輸出鏡、第一倍頻晶體、雙波長波片和第二倍頻晶體依次設于所述折疊鏡和所述第二全反鏡之間。

優選地，所述激光諧振腔被構造為Z型，所述激光諧振腔包括兩個折疊鏡，所述Q調制元件設于第一折疊鏡和第一全反鏡之間，所述激光晶體設于第一折疊鏡和第二折疊鏡之間，輸出鏡、第一倍頻晶體、雙波長波片和第二倍頻晶體依次設于所述第二折疊鏡和所述第二全反鏡之間。

優選地，所述激光晶體選自Nd:YVO4或Nd:YAG或Nd：YLF或Nd:Glass。

優選地，所述第一倍頻晶體為二次諧波晶體，所述第二倍頻晶體為三次諧波晶體。

優選地，所述二次諧波晶體選自磷酸二氫鉀或三硼酸鋰或硼酸鉍或磷酸氧鈦鉀或偏硼酸鋇非線性光學晶體；所述三次諧波晶體選自三硼酸鋰或三硼酸銫或硼酸銫鋰或偏硼酸鋇非線性光學晶體。

優選地，所述Q調制元件為聲光調Q器件、電光調Q器件或被動調Q器件。

優選地，所述第一全反鏡或第二全反鏡為平面鏡、平-凹鏡或平-凸鏡。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于，本實用新型的激光器通過兩個倍頻晶體與雙波長波片的配合，實現了分別輸出波長不同的兩種激光，無需使用單透射雙反射膜，減小鏡片的損傷；本實用新型的激光器安裝和調節簡便。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例1的激光器的結構示意圖。