[實(shí)用新型]一種多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520090468.4
• 申請日: 2015-02-09
• 公開（公告）號: CN204604618U
• 公開（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王敏;徐君;葉坤;金建華
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶磁機(jī)電科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;F16D1/05
• 代理公司: 臺州市方圓專利事務(wù)所 33107
• 代理人: 江程鵬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種多線切割機(jī)，特別是一種多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。目前的多線切割機(jī)多屬于直線切割，其工作臺系統(tǒng)的移動大多通過渦輪蝸桿減速器進(jìn)行傳遞，傳遞精度低，而且結(jié)構(gòu)相對比較復(fù)雜，占用空間較大，拆卸也非常不便。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)，它傳遞精度高，而且拆裝方便。

本實(shí)用新型的目的可通過下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)，包括伺服電機(jī)、傳動軸和能沿著傳動軸軸向滑動的料板座，其特征在于，所述傳動軸和伺服電機(jī)之間通過諧波減速機(jī)相連接，所述伺服電機(jī)的輸出軸連接在諧波減速機(jī)的輸入端，所述傳動軸通過錐度聯(lián)軸器連接在諧波減速機(jī)的輸出端。

本技術(shù)方案中，傳動軸通過諧波減速機(jī)與伺服電機(jī)相連接，其軸向傳遞精度可以達(dá)到微米級，能夠保證精密的傳動精度，從而保證切割精度，同時，傳動軸的輸入端具有與錐度聯(lián)軸器內(nèi)錐面配合連接的外錐面，傳動軸通過錐度聯(lián)軸器與諧波減速機(jī)相連，能夠最大限度地達(dá)到結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約多線切割機(jī)的空間，還可以方便拆裝。

在上述的多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)中，還包括平移底座、主機(jī)座、減速機(jī)座和連接法蘭，所述主機(jī)座設(shè)置在平移底座上，所述減速機(jī)座設(shè)置在主機(jī)座上，所述諧波減速機(jī)設(shè)置在減速機(jī)座內(nèi)，所述伺服電機(jī)設(shè)置在連接法蘭上，所述連接法蘭連接在減速機(jī)座輸入端的端面上，所述傳動軸通過軸承設(shè)置在減速機(jī)座的輸出端內(nèi)。該結(jié)構(gòu)緊湊，能夠有效地節(jié)約多線切割機(jī)的空間，同時伺服電機(jī)、諧波減速機(jī)及輸出軸的安裝定位均十分穩(wěn)定，工作精度高，而且拆裝非常的方便。

在上述的多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)中，所述傳動軸與錐度聯(lián)軸器之間通過調(diào)節(jié)螺栓相連接。傳動軸的輸入端端面上設(shè)置有具有內(nèi)螺紋的螺孔，通過調(diào)節(jié)螺栓的旋進(jìn)深度能夠?qū)鲃虞S與錐度聯(lián)軸器的結(jié)合度進(jìn)行調(diào)整，從而保證多線切割機(jī)工作臺的移動精度。

在上述的多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)中，所述減速機(jī)座的輸出端的端面上設(shè)置有一軸承壓板。該軸承壓板用于對軸承進(jìn)行限位，在調(diào)節(jié)螺栓相對傳動軸旋出時能夠避免軸承隨著傳動軸移動而脫出減速機(jī)座，保證連接的精度。

在上述的多線切割機(jī)高精度工作臺系統(tǒng)的傳動連接結(jié)構(gòu)中，所述傳動軸為絲桿，所述料板座通過螺帽座連接在傳動軸上。伺服電機(jī)和絲桿螺母結(jié)構(gòu)相配合，能夠?qū)崿F(xiàn)工作臺的高精度移動，此外本技術(shù)方案中的傳動軸也可以為轉(zhuǎn)動軸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下的優(yōu)點(diǎn)：

1、采用諧波減速器，其軸向精度可以達(dá)到微米級，能夠保證精密的傳動精度，從而保證切割精度；

2、采用直聯(lián)結(jié)構(gòu)和錐度連接，最大限度地達(dá)到結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約了多線切割機(jī)移動或擺動機(jī)構(gòu)的空間；

3、采用錐度連接，一可保證連接精度，二可以方便拆裝。

附圖說明

圖1是實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中的A-A截面圖。

圖中，1、伺服電機(jī)；2、傳動軸；3、料板座；4、諧波減速機(jī)；5、錐度聯(lián)軸器；6、主機(jī)座；7、減速機(jī)座；8、連接法蘭；9、軸承；10、調(diào)節(jié)螺栓；11、軸承壓板；12、螺帽座；13、螺帽座高度調(diào)整墊片；14、上滑臺板；15、平移底座。

具體實(shí)施方式

以下是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本實(shí)用新型并不限于這些實(shí)施例。