[實(shí)用新型]一種晶體硅生長裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520089461.0
• 申請日: 2015-02-09
• 公開（公告）號: CN204570089U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳坤助;李圣琦;林彥廷;張立峰
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽巨子新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于無機(jī)材料生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種晶體硅生長裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中對于晶體硅生長裝置的改造涉及較多，主要是為了保證內(nèi)部晶體硅的生長均勻，能夠生長出質(zhì)量較好的晶體形態(tài)，而能夠較大影響其生長質(zhì)量問題的一大因素便是內(nèi)部溫度的控制，現(xiàn)有技術(shù)中對熱場內(nèi)部的溫度控制精度交差，其溫度的上升與下降受環(huán)境影響較大，從而導(dǎo)致內(nèi)部溫度變化較為劇烈，而晶體硅生長需要的條件也比較苛刻，所以較為劇烈的溫度變化很容易對晶體硅整體生長造成不利影響，另一方面經(jīng)過長期研究，固定底座對導(dǎo)熱影響也較大，所以固定底座的阻熱也是一個需要改進(jìn)的方向。

晶體生長裝置中加熱器屬于熱場的供熱元件，在長晶裝置中是必不可少的基礎(chǔ)構(gòu)件，現(xiàn)有技術(shù)中所采用的加熱器種類也比較多，具體有盤繞式加熱絲、桶狀加熱片和矩形加熱片，但是由于加熱電極只能從加熱器的一端接入，所以根據(jù)加熱器采用的不同材料會導(dǎo)致加熱器前期受熱不均勻，長期的受熱不均會導(dǎo)致加熱器局部之間產(chǎn)生差異，而晶體生長比較注重整體成型，所以局部結(jié)構(gòu)的差異會導(dǎo)致內(nèi)部溫度隨之產(chǎn)生差異，最終導(dǎo)致晶體生長形態(tài)不均勻，對生產(chǎn)的產(chǎn)品整體質(zhì)量造成較大的影響，所以現(xiàn)有技術(shù)中對加熱器還需要做進(jìn)一步的改造，從而達(dá)到晶體形態(tài)生長均勻的目的。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、熱量散發(fā)穩(wěn)定、熱量流動均勻的晶體硅生長裝置。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種晶體硅生長裝置，包括有固定底座、保溫外桶、保溫內(nèi)桶、中軸托桿、加熱電極、加熱器和水冷裝置，所述的保溫外桶的上端口內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有卡環(huán)，所述的水冷裝置卡放于卡環(huán)上，所述的保溫內(nèi)桶設(shè)置于保溫外桶內(nèi)部，所述的保溫內(nèi)桶與保溫外桶之間填裝有石墨氈層，所述的保溫內(nèi)桶內(nèi)部設(shè)置有隔熱層，所述的隔熱層與保溫內(nèi)桶之間設(shè)置有一定的間隔距離，所述的保溫外桶側(cè)壁上設(shè)置有抽空孔，所述的抽空孔連通隔熱層并與內(nèi)部連通，且連通保溫外桶并與外界連通，所述的加熱器設(shè)置于隔熱層內(nèi)部，所述的加熱器內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有兩個固定耳，所述的固定耳上設(shè)置有電極固定孔，所述的加熱器內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)熱層，所述的加熱電極固定在固定耳上設(shè)置的電極固定孔上，所述的中軸托桿設(shè)置于固定底座中心位置，所述的中軸托桿上端設(shè)置有堝托，所述的堝托上設(shè)置有坩堝。

所述的水冷裝置為盤管式水循環(huán)水冷裝置。

所述的固定底座為三層石墨層。

所述的抽空孔設(shè)置有兩個。

所述的隔熱層為蜂巢狀隔熱層。

所述的導(dǎo)熱層為鋁制網(wǎng)狀層。

所述的導(dǎo)熱層通過螺釘固定的方式安裝在加熱器內(nèi)側(cè)壁上。

所述的加熱器側(cè)壁上設(shè)置有至少4個導(dǎo)流孔。

所述的加熱器及隔熱層均為圓柱形桶狀結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果是：在保溫外桶的上端口內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有卡環(huán)，可以提供較好的水冷裝置限位固定位置，設(shè)置的保溫內(nèi)桶與保溫外桶起到保溫作用，在保溫內(nèi)桶與保溫外桶之間填裝的石墨氈層具有較好的耐高溫特性，使其整體在受熱時更加穩(wěn)定，在保溫內(nèi)桶內(nèi)部設(shè)置的隔熱層具有較好的隔熱效果，隔熱層與保溫內(nèi)桶之間保持一定的距離，使中間形成真空狀態(tài)，具有較好的隔熱效果，其中將隔熱層設(shè)置為蜂巢狀隔熱層，使其局部構(gòu)造更加復(fù)雜，具有較好的圈熱效果，能夠是熱量的散發(fā)更加緩慢均勻，便于內(nèi)部晶體的成型；在保溫外桶底部設(shè)置的抽空孔提供空氣抽濾位置，使其對內(nèi)部的空氣抽濾更加方便；