[實用新型]硅片插片系統

有效

• 申請號: 201520088219.1
• 申請日: 2015-02-09
• 公開（公告）號: CN204441260U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 陳宏
• 申請（專利權）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 田媛;靳靜

1.一種硅片插片系統，包括用于輸送硅片的硅片輸送機構、用于輸送盛裝硅片的工裝花籃的花籃輸送機構、用于抓取及移動工裝花籃的機械手、用于限定待插片的工裝花籃的位置的限位機構，其特征在于：所述的限位機構包括相平行且沿豎直方向設置的第一側立板和第二側立板，所述的第一側立板與所述的第二側立板之間形成供工裝花籃上下移動的通道，硅片在硅片輸送機構上的移動路徑的中心線與所述的通道的豎直中心線共面。

2.根據權利要求1所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的第一側立板和所述的第二側立板之間連接設置有后側板，所述的后側板位于遠離硅片輸送機構的一側，所述的第一側立板、所述的后側板與所述的第二側立板的俯視圖呈“Π”或“ㄇ”型。

3.根據權利要求1所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的機械手上安裝有壓力傳感器，所述的壓力傳感器的信號輸出端連接在所述的機械手的控制電路中。

4.根據權利要求3所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的機械手的控制電路中還連接有警燈或警笛。

5.根據權利要求4所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的警燈或警笛并聯在所述的機械手的控制電路中。

6.根據權利要求1所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的花籃輸送機構包括與所述的硅片輸送機構相平行設置的用于輸送空的工裝花籃的第一輸送機構和與所述的硅片輸送機構相平行設置的用于輸送滿的工裝花籃的第二輸送機構。

7.根據權利要求6所述的硅片插片系統，其特征在于：所述的機械手包括設置在所述的第一輸送機構對應所述的限位機構的位置的上方與所述的第二輸送機構對應所述的限位機構的位置的上方之間的橫梁、能夠水平移動地設置在所述的橫梁上的安裝座、能夠升降移動地設置在所述的安裝座上的移動部、設置在所述的移動部的下端的用于抓取或釋放工裝花籃的夾持部。