[實用新型]藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統

有效

• 申請號: 201520088046.3
• 申請日: 2015-02-09
• 公開（公告）號: CN204389406U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 潘傳鵬;閆峰;姚紅文
• 申請（專利權）人: 蘇州蘭葉光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴

1.一種藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于該裝置包括：

其上能夠水平放置藍寶石(9)、且水平布置的xy位移平臺，

布置在所述xy位移平臺上方的相機(4)，且該相機(4)的鏡頭(5)豎直朝向下布置而與所述xy位移平臺相垂直，

與所述相機(4)相連的光源(8)，以及

設于所述相機(4)內、且能夠將所述光源(8)發出的發散光束轉換成經過所述鏡頭(5)的平行光束(18)的光路轉換機構。

2.根據權利要求1所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于該裝置還包括：

用于存放藍寶石(9)的樣品盒(17)，

用于將藍寶石(9)在所述樣品盒(17)和xy位移平臺之間來回搬運的工業機器人(16)，

與所述光源(8)和相機(5)均相連的光源控制器(2)，

與所述相機(4)、工業機器人(16)和xy位移平臺均相連的控制系統。

3.根據權利要求2所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于所述xy位移平臺包括：能夠沿y軸方向水平移動的縱向移動平臺(14)、驅動該縱向移動平臺(14)沿y軸方向水平移動的第一伺服電機(15)、設于所述縱向移動平臺(14)上方且能夠沿x軸方向水平移動的橫向移動平臺(12)、以及驅動該橫向移動平臺(12)沿y軸方向水平移動的第二伺服電機(13)，所述第一伺服電機(15)和第二伺服電機(13)均與所述控制系統相連。

4.根據權利要求3所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于所述xy位移平臺還包括設置在所述橫向移動平臺(12)上面的載臺(11)。

5.根據權利要求3所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于所述相機(4)為CCD相機。

6.根據權利要求3所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于所述控制系統有主控制機和控制電柜構成。

7.根據權利要求3所述的藍寶石長晶缺陷及表面缺陷光學檢測系統，其特征在于所述光源(8)為高亮點光源。