[實用新型]氣瓶接頭保護裝置及氣體供應裝置

有效

• 申請號: 201520077755.1
• 申請日: 2015-02-04
• 公開（公告）號: CN204459766U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 熊依添;朱軍;段立杰;朱慶瑋
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: F17C13/06
• 分類號: F17C13/06;F17C5/06
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

技術領域

本實用新型涉及化工設備技術領域，特別涉及一種氣瓶接頭保護裝置和具有氣瓶接頭保護裝置的氣體供應裝置。

背景技術

蝕刻制程中常需要使用氯氣(Cl₂)對特定的薄膜層進行蝕刻，所以需要持續提供氯氣。通常，氯氣被壓縮充裝于供氣設備的氣瓶中，并通過氣瓶接頭接入供氣設備的氣瓶以持續利用氯氣進行蝕刻。

因為氯氣具有毒性、氧化性，特別是與水結合后會產生鹽酸和次氯酸會腐蝕氣瓶接頭。所以，通常需要在氣瓶接頭上設置排氣箱。圖1是現有的供氣設備的氣瓶接頭設置排氣箱的結構示意圖。如圖1所示，供氣設備200包括氣瓶210、氣體導引管220、氣瓶接頭230、導管240、氣體處理裝置250和排氣箱260。氣體導引管220連接于氣瓶210的端部，氣瓶接頭230垂直連接于氣體導引管220，導管240一端連通于氣瓶接頭230，另一端連通于氣體處理裝置250，氣體導引管220和導管240穿過排氣箱260，并使氣體導引管220和氣瓶接頭230處于排氣箱260內。排氣箱260連接有抽氣裝置(圖未示)，通過抽氣裝置抽除排氣箱260內的空氣，使排氣箱260內處于負壓狀態。周圍濕度較大的空氣會通過排氣箱260的縫隙進入到排氣箱260內，并聚集在氣瓶接頭230的泄漏孔處凝結出微量水分。

當氣瓶接頭230長時間使用或處于氣瓶接頭230內的墊片(圖未示)安裝稍有偏差，就會造成微量氯氣從氣瓶接頭230上設的泄漏孔(圖未示)中溢出，并與泄漏孔周圍的水產生反應，消耗了溢出的氯氣。所以設置在排氣箱260內的偵測器(圖未示)無法偵測到泄漏的微量氯氣。微量氯氣與水反應產生鹽酸和次氯酸，進而造成氣瓶接頭230長時間被腐蝕，使氣瓶接頭230后期維修非常困難。此外，為了解決氣瓶接頭230被腐蝕，防止氯氣泄漏事故的發生，通常需要使用優質的墊片或者使用操作經驗豐富的人員定期更換氣瓶接頭230，因此大大增加了使用成本，而且不能及時知道氣瓶接頭230是否發生泄漏，其穩定性低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供了一種氣瓶接頭保護裝置，能夠防止氣瓶接頭被腐蝕，降低氣瓶接頭的使用成本。

本實用新型的目的在于，提供了一種氣體供應裝置，能夠防止氣瓶接頭被腐蝕，降低氣瓶接頭的使用成本。

本實用新型解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。

一種氣瓶接頭保護裝置,用于保護連接供氣瓶的氣瓶接頭,氣瓶接頭具有泄氣孔。氣瓶接頭保護裝置包括保護箱、保護氣供應裝置以及氣體回收裝置,保護箱具有容置腔，氣瓶接頭穿設于保護箱，且泄氣孔處于容置腔內。保護氣供應裝置和氣體回收裝置分別與容置腔連通，保護氣供應裝置提供惰性氣體至容置腔，氣體回收裝置回收容置腔的惰性氣體及經由泄氣孔泄漏的供氣瓶中的氣體。

在本實用新型的較佳實施例中，上述保護箱包括多個側壁、第一底板和第二底板。多個側壁依次圍合連接并連接于第一底板和第二底板之間形成保護箱。

在本實用新型的較佳實施例中，上述保護箱的第一底板設有第一安裝孔,第二底板設有第二安裝孔,第一安裝孔和第二安裝孔同軸設置，氣瓶接頭穿設于第一安裝孔和第二安裝孔。

在本實用新型的較佳實施例中，上述保護箱的第一安裝孔和第二安裝孔內分別設有密封圈，氣瓶接頭通過密封圈與保護箱密封固定。

在本實用新型的較佳實施例中，上述保護箱的第一底板設有進氣孔，且進氣孔與保護氣供應裝置連通。第二底板設有出氣孔，且出氣孔與氣體回收裝置連通，進氣孔和出氣孔貫通容置腔。

在本實用新型的較佳實施例中，上述出氣孔內的內壁上設有氣體偵測器，氣體偵測器檢測由泄氣孔泄漏的供氣瓶中的氣體。

在本實用新型的較佳實施例中，上述惰性氣體為氮氣。

一種氣體供應裝置，其包括供氣裝置和氣體處理裝置。供氣裝置包括供氣瓶、氣瓶接頭和導管，氣瓶接頭連接于供氣瓶，導管一端連接于氣瓶接頭，另一端連接于氣體處理結構，且氣體供應裝置還包括上述的氣瓶接頭保護裝置。