[實用新型]一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場

有效

• 申請號: 201520071359.8
• 申請日: 2015-02-02
• 公開（公告）號: CN204490984U
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 王叔暉;孟慶學
• 申請（專利權）人: 上海法德機械設備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海集信知識產權代理有限公司 31254
• 代理人: 唐海波

1.一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，其特征在于：所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。

2.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于：所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。

3.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于：所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。

4.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于：所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。

5.按照權利要求1至4之一所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于：所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上。

6.按照權利要求5所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于：所述旋轉座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉座板上。