[實用新型]一種多晶硅還原爐電源柜

有效

• 申請號: 201520071109.4
• 申請日: 2015-01-30
• 公開（公告）號: CN204481354U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 王清華;楊明;聶彬彬
• 申請（專利權）人: 重慶大全泰來電氣有限公司
• 主分類號: H02B1/30
• 分類號: H02B1/30;H02B1/24;H02H7/22;H02H9/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

技術領域

本實用新型涉及電氣設備制造技術領域，更具體地說，涉及一種多晶硅還原爐電源柜。

背景技術

目前，國內外多晶硅還原爐硅芯擊穿啟動方式大都采用高電壓使硅芯擊穿，待硅芯全部擊穿后，停止高壓啟動電源，切換到還原電源，進入硅芯還原生長階段。在對硅芯進行高壓擊穿的過程中，為了保護還原電源側的電氣設備不被高壓損壞，一般采用的做法是在高壓啟動電源柜和還原爐電源柜之間加設一臺隔離柜，如果需要6臺電源柜，就需要同時配置6臺隔離柜，占廠房安裝空間較大，配套安裝的大截面銅母排和安裝支架鋼材用量大，生產成本高。

目前，多晶硅領域做成套設備產品的同行里，還原爐功率柜主要分兩種布局，即橫向布局和縱向布局。橫向布局就是柜體分左右室，這種方式橫向占地空間大，特別是一套系統需要6臺并柜安裝，另外還要并列安裝一臺PLC控制柜，對于廠房空間不是很寬裕的用戶來說，這種柜型的局限性就體現得很明顯了。縱向布局是把柜體分前室和后室兩個空間，這樣單臺設備橫向占地面積小，一套排列會省出近一半的空間。所以，部分廠家也在開發縱向布局的柜型，但是，在配套使用的設備中，無論使用哪種柜型，都得將一臺還原爐功率柜配一臺隔離柜，整個安裝占地面積較大，而且存在設備及其接線復雜，銅材及鋼材用量大，設備投入成本較高的問題。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種多晶硅還原爐電源柜，能夠減小占地面積，節約材料和設備投資，減少設備安裝時間和安裝費用。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本實用新型提供的一種多晶硅還原爐電源柜，包括高壓隔離保護單元和還原爐功率供給單元，所述電源柜包括前室和后室。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述高壓隔離保護單元包括：

設置于所述電源柜后室上部的真空斷路器；

設置于所述電源柜前室下部的真空接觸器。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述還原爐功率供給單元包括：

設置于所述電源柜前室上部的可控硅、高壓熔斷器和水冷組件；

設置于所述電源柜后室中部的接地監測裝置和阻容保護器；

設置于所述電源柜前室下部的電壓互感器；

設置于所述電源柜后室下部的電抗器。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述電源柜的后室中部設置有檢修空間。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述電源柜與多晶硅還原爐之間用于連接的進出線設置于所述電源柜的上部。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述進出線設置于穿墻套管或絕緣套管內，且利用黃蠟板支撐。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述電源柜的主體框架為焊接型框架。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述電源柜內部設置有透明有機玻璃板，所述透明有機玻璃板通過固定支件固定在柜體框架上，且與所述電源柜的門內側相對。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述電源柜內的固定支件為采用鍍鋅鋼板成型的C型材支件。

優選的，在上述多晶硅還原爐電源柜中，所述水冷組件的材質為鋁合金。

從上述技術方案可以看出，本實用新型所提供的一種多晶硅還原爐電源柜，包括高壓隔離保護單元和還原爐功率供給單元，所述電源柜包括前室和后室。這種一體化的多晶硅還原爐電源柜將隔離柜和功率柜的功能整合在一起，利用一個多晶硅還原爐電源柜，既能使還原爐功率供給單元免受高壓損傷，又能為多晶硅還原爐提供功率，另外，還采用了前室和后室相結合的縱向布局結構，從而減少了設備占地面積，還能減少銅排和高壓電纜的長度，從而節約材料和設備投資，減少設備安裝時間和安裝費用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請實施例提供的一種多晶硅還原爐電源柜的正視圖；

圖2為本申請實施例提供的一種多晶硅還原爐電源柜的后視圖；

圖3為本申請實施例提供的一種多晶硅還原爐電源柜的側視圖。

具體實施方式