[實用新型]一種可傳輸研磨液的化學機械研磨設備

有效

• 申請號: 201520060793.6
• 申請日: 2015-01-28
• 公開（公告）號: CN204471179U
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 戴文俊
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B24B37/26
• 分類號: B24B37/26;B24B57/02
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，用于對待研磨晶圓進行研磨，包括研磨墊以及研磨臺面，所述研磨墊貼合于所述研磨臺面的上表面，其特征在于，

所述研磨墊具有用于傳輸研磨液的出液孔以及溝槽結構；所述出液孔貫穿該研磨墊，為所述溝槽結構供給研磨液，所述溝槽結構分布于所述研磨墊的上表面，且所述溝槽結構由所述出液孔延伸至所述研磨墊的邊緣；

所述研磨臺面具有研磨液管路，所述研磨液管路一端連接至所述出液孔，另一端連接研磨液供應源。

2.根據權利要求1所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述溝槽結構由若干個規則幾何形狀的溝槽組成，且相互貫通的布滿所述研磨墊的上表面。

3.根據權利要求2所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述溝槽結構由若干個方形溝槽組成，且相互貫通的布滿所述研磨墊的上表面。

4.根據權利要求3所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述溝槽均勻的布滿所述研磨墊的上表面。

5.根據權利要求1所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述溝槽結構包括多條線形溝槽，沿所述出液孔向所述研磨墊的邊緣延伸，且呈放射狀均布。

6.根據權利要求5所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述溝槽結構還包括若干個同心圓環形溝槽。

7.根據權利要求1～6任一所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述出液孔為一個，設于所述研磨墊的中心。

8.根據權利要求1～6任一所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述出液孔為多個，均勻的分布于所述研磨墊上。

9.根據權利要求1所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述研磨墊包括研磨層以及背膠層，所述背膠層設于所述研磨層的下方，用于粘合所述研磨臺面。

10.根據權利要求1所述的可傳輸研磨液的化學機械研磨設備，其特征在于，所述研磨液管路上具有控制單元，所述控制單元用于控制所述研磨液管路中研磨液的流量。