[實用新型]一種三軸加速度傳感器裝置

有效

• 申請號: 201520051216.0
• 申請日: 2015-01-23
• 公開（公告）號: CN204374234U
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 黃耀霖;彭斌
• 申請（專利權）人: 廣州快飛計算機科技有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 羅偉添

技術領域

本實用新型涉及一種三軸加速度傳感器裝置。

背景技術

MEMS(Microelectro?Mechanical?Systems，微機電系統)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。

MEMS加速度傳感器，體積小，成本低廉，此類傳感器被大量用于民用級慣性姿態傳感器中。近年來隨著半導體工藝的進步和發展，在3mm?x?3mm?x?1mm的體積內即可集成三軸加速度傳感器，甚至在一個芯片內集成3軸角速度傳感器及3軸加速度傳感器。但由于工藝限制，此類MEMS加速度傳感器在水平面的X方向和Y方向上的敏感度和精度均高于Z方向上的敏感度和精度，由于“木桶的短板效應”，Z軸的精度將最終決定整個姿態傳感系統的精度，故，現有的MEMS加速度傳感器的敏感度和精度仍有待提高。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型旨在于提供一種可解決上述技術問題的三軸加速度傳感器裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種三軸加速度傳感器裝置，其包括第一加速度傳感器和第二加速度傳感器；

該第一加速度傳感器的X軸方向和Y軸方向位于一平面，第二加速度傳感器的X軸方向或Y軸方向垂直于該平面，該第一加速度傳感器的X軸方向和Y軸方向對應的數據端分別為本裝置的X軸數據端和Y軸數據端，該第二加速度傳感器的X方向或Y方向對應的數據端即為本裝置的Z軸數據端。

優選地，該第一加速度傳感器為雙軸加速度傳感器或三軸加速度傳感器。

優選地，該第二加速度傳感器為雙軸加速度傳感器或三軸加速度傳感器。

優選地，該第一加速度傳感器和第二加速度傳感器采用同樣型號的加速度傳感器。

優選地，三軸加速度傳感器裝置還包括相互垂直的第一電路板和第二電路板；第一加速度傳感器和第二加速度傳感器分別布設于第一電路板和第二電路板上。

優選地，第一電路板和第二電路板均為印刷電路板，第二電路板的一端插接于第一電路板上。

優選地，該第一電路板和第二電路板為一體成型的柔性電路板。

優選地，本裝置還包括一殼體，第一加速度傳感器、第二加速度傳感器、第一電路板和第二電路板均收容于該殼體內，該殼體內的其他空間均灌注有環氧樹膠。

本實用新型的X軸方向、Y軸方向和Z軸方向的靈敏度和檢測精度基本一致，從而提高整個裝置的靈敏度和檢測精度。

附圖說明

圖1為本實用新型三軸加速度傳感器裝置的較佳實施方式的結構示意圖。

圖2為本實用新型三軸加速度傳感器裝置的另一較佳實施方式的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖以及具體實施方式，對本實用新型做進一步描述：

請參見圖1，本實用新型涉及一種三軸加速度傳感器裝置，其較佳實施方式包括第一加速度傳感器10和第二加速度傳感器20。

該第一加速度傳感器10的X軸方向和Y軸方向位于一平面，第二加速度傳感器20的X軸方向或Y軸方向垂直于該平面，該第一加速度傳感器10的X軸方向和Y軸方向對應的數據端分別為本裝置的X軸數據端和Y軸數據端，該第二加速度傳感器20的X方向或Y方向對應的數據端即為本裝置的Z軸數據端。

如此，本三軸加速度傳感器裝置的X軸方向、Y軸方向和Z軸方向的靈敏度和檢測精度基本一致，從而提高整個裝置的靈敏度和檢測精度。

該第一加速度傳感器10可為雙軸加速度傳感器或三軸加速度傳感器。

該第二加速度傳感器20可為雙軸加速度傳感器或三軸加速度傳感器。

優選地，該第一加速度傳感器10和第二加速度傳感器20采用同樣型號的加速度傳感器，如此，可更優化本裝置的靈敏度和檢測精度。

三軸加速度傳感器裝置還包括相互垂直的第一電路板30和第二電路板40。第一加速度傳感器10和第二加速度傳感器20分別布設于第一電路板30和第二電路板40上。

本實施例中，第一電路板30和第二電路板40均為印刷電路板，第二電路板40的一端插接于第一電路板30上。

其他實施例中，該第一電路板30和第二電路板40為一體成型的柔性電路板。

當然，參見圖2，本裝置也可僅包括一剛性電路板，第一加速度傳感器10和第二加速度傳感器20均布設于該剛性電路板上。