[實用新型]一種表面等離子體慢光波導

有效

• 申請號: 201520050227.7
• 申請日: 2015-01-23
• 公開（公告）號: CN204374476U
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 陳輝;陳佳佳;陳明
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/124
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107
• 代理人: 歐陽波

1.一種低損耗表面等離子體慢光波導，包括金屬基底(1)和介質光柵(2)，其特征在于：

所述金屬基底(1)為上、下兩塊，介質光柵(2)的柵條上、下兩端分別經加載介質層(3)與上、下金屬基底(1)連接，介質光柵(2)的柵條以上、下金屬基底(1)之間的水平中心線上下對稱，各柵條的寬度相等，各柵條的間距相等，各柵條的厚度相等，柵條的高度由一端向另一端以相同的增幅逐漸遞增，最少為4根柵條；柵條之間為空氣(4)或者為真空。

2.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

所述介質光柵(2)的柵條寬度為100～120nm。

3.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

所述介質光柵(2)的柵條間距為130～250nm。

4.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

所述介質光柵(2)的柵條高度為40nm≤h≤800nm，相鄰柵條的高度差為4～16nm。

5.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

所述的加載介質層(3)的高度為10～20nm。

6.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

所述介質光柵(2)的柵條和加載介質層(3)的厚度相等。

7.根據權利要求1所述的低損耗表面等離子體慢光波導，其特征在于：

與加載介質層(3)連接的上方的金屬基底(1)的底和下方的金屬基底(1)的頂為直線，二者以水平中心線上下對稱。