[實用新型]基板托盤結構有效

申請號：	201520042616.5	申請日：	2015-01-22
公開（公告）號：	CN204332928U	公開（公告）日：	2015-05-13
發明（設計）人：	崔相玉;魏明德;金惠東;金度亨	申請（專利權）人：	徐州同鑫光電科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244	代理人：	張榮亮
地址：	221000 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	托盤結構
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【權利要求書】：

1.一種基板托盤結構，其特征在于，包括托盤（1）、螺絲孔（2）、固定點Ⅰ（3）、固定點Ⅱ（31）和基板放置區（4），所述托盤（1）上的基板放置區（4）排列為六角形，呈上下左右對稱的排列方式，每個基板放置區（4）的四周開有不止兩個的螺絲孔（2），托盤（1）的五點鐘方向設置有固定點Ⅰ（3），托盤（1）的十一點鐘方向設置有固定點Ⅱ（31）。

2.根據權利要求1所述的基板托盤結構，其特征在于，所述的基板放置區（4）的排列方式由上而下的排列數量依次為2個、5個、6個、5個、6個、5個和2個。

3.根據權利要求1所述的基板托盤結構，其特征在于，所述的螺絲孔（2）的排列方式由上而下的排列數量依次為2個、5個、4個、7個、7個、4個、5個和2個。

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