[實用新型]激光打標進料裝置

有效

• 申請號: 201520042445.6
• 申請日: 2015-01-20
• 公開（公告）號: CN205033732U
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發明（設計）人: 鄒武兵;張德安;禹剛;段家露;羅偉智;曾波
• 申請（專利權）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: B41J2/435
• 分類號: B41J2/435;B41J11/00
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

1.激光打標進料裝置，用于將待打標的晶圓在檢測臺與打標臺上進行取放，其特征在于：包括裝置本體、裝設于所述裝置本體上用于對待打標晶圓片進行放置的放料結構、至少一個用于將待打標晶圓片在所述放料結構上進行取放的夾料機構，各所述夾料機構包括夾料結構本體、與所述夾料機構本體裝配在一起的可驅動所述夾料機構做上下移動的第一驅動機構、與所述第一驅動機構裝配在一起的可驅動所述夾料機做360度旋轉的第二驅動結構、二個裝設于所述第二驅動結構上的用于夾緊所述晶圓的夾緊臂、與所述夾緊臂裝配在一起的可驅動所述夾緊臂對所述晶圓分離或夾緊的第三驅動結構。

2.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于：所述夾料機構的數量為2個，各所述夾料機構在可不同角度同時對晶圓進行夾取，當其中一個夾料機構將在檢測臺上檢測完的晶圓夾取后放置在打標臺上，另一個夾料機構將放料結構中的晶圓夾取后放置在檢測臺上。

3.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于：所述夾緊臂上裝設有用于判斷所述晶圓是否夾緊的傳感器。

4.根據權利要求1所述的激光打標進料裝置，其特征在于：所述放料結構包括若干用于放置所述晶圓的放置層。