[實(shí)用新型]激光打標(biāo)機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520041858.2
• 申請(qǐng)日: 2015-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204504509U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒武兵;張德安;禹剛;段家露;羅偉智;曾波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/36
• 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 曾少麗

1.激光打標(biāo)機(jī)，用于對(duì)晶圓進(jìn)行打標(biāo)，其特征在于：包括打標(biāo)機(jī)本體、容置于所述打標(biāo)機(jī)本體內(nèi)的控制組件、裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上的進(jìn)料結(jié)構(gòu)組件、角度校正結(jié)構(gòu)組件、打標(biāo)定位檢測(cè)組件、裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上并與所述打標(biāo)定位檢測(cè)組件相互配合的激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)，所述激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)包括裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上的激光發(fā)生器、裝設(shè)于所述激光發(fā)生器上用于將激光發(fā)生器發(fā)出的激光進(jìn)行傳送的光路結(jié)構(gòu)、裝設(shè)于所述光路結(jié)構(gòu)上用于對(duì)所述晶圓進(jìn)行打標(biāo)的打標(biāo)頭，所述角度校正結(jié)構(gòu)組件可相對(duì)于打標(biāo)機(jī)本體沿X軸來(lái)回移動(dòng)與圓周轉(zhuǎn)動(dòng)，所述打標(biāo)定位檢測(cè)組件包括用于檢測(cè)所述晶圓的打標(biāo)位置是否正確的定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)及與所述定位檢測(cè)結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的用于放置待打標(biāo)晶圓的打標(biāo)承座結(jié)構(gòu)，所述打標(biāo)承座結(jié)構(gòu)裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上，所述光路結(jié)構(gòu)包括用于將激光進(jìn)行擴(kuò)束的擴(kuò)束鏡、若干對(duì)激光進(jìn)行反射傳遞的反射鏡、對(duì)激光進(jìn)行開(kāi)關(guān)控制的光閘、振鏡，所述進(jìn)料結(jié)構(gòu)組件可將待打標(biāo)的晶圓放置于角度校正組件上，并可將在角度校正組件上校正完成的晶圓傳送到激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述打標(biāo)承座結(jié)構(gòu)包括用于放置晶圓的承座、與所述承座相互配合的用于壓住待打標(biāo)晶圓的壓板、與所述壓板裝配在一起的用于將壓板頂起的壓板驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上的用于將晶圓托住并進(jìn)行移動(dòng)的托住結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述進(jìn)料結(jié)構(gòu)組件包括裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上用于對(duì)待打標(biāo)晶圓片進(jìn)行分料的分料結(jié)構(gòu)、至少一個(gè)用于將待打標(biāo)晶圓片在所述分料結(jié)構(gòu)上進(jìn)行取放的夾料結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上的線性運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)、用于對(duì)所述晶圓片的打標(biāo)位置進(jìn)行檢測(cè)的第一CCD檢測(cè)結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述打標(biāo)頭與承座之間裝設(shè)有避免所述打標(biāo)頭受到灰塵污染的防塵罩及保護(hù)鏡片。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述第一CCD檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括裝設(shè)于所述線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的第一CCD攝像頭、裝設(shè)于所述激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)上的第二CCD攝像頭，裝設(shè)于所述第一CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓打標(biāo)點(diǎn)更加清晰的第一光源，裝設(shè)于所述第二CCD攝像頭上的用于使CCD攝像頭拍出的晶圓打標(biāo)點(diǎn)更加清晰的第二光源，所述第一CCD攝像頭及第二CCD攝像頭同軸設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括裝設(shè)于所述打標(biāo)機(jī)本體上的X軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)、裝設(shè)于所述X軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)上的Y軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)、裝設(shè)于所述Y軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)上的Z軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)、若干裝設(shè)于所述Z軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)上的用于將所述壓板進(jìn)行吸起的真空吸嘴，所述X軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括X軸直線電機(jī)、裝設(shè)于X軸直線電機(jī)上的X軸移動(dòng)臺(tái)、X軸滑軌、與所述X軸滑軌裝配在一起的X軸滑塊，所述Y軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括Y軸直線電機(jī)及裝設(shè)于Y軸直線電機(jī)上的Y軸移動(dòng)臺(tái)、Y軸滑軌、與所述Y軸滑軌裝配在一起的Y軸滑塊，所述Z軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括Z軸直線電機(jī)及裝設(shè)于Z軸直線電機(jī)上的Z軸移動(dòng)臺(tái)、Z軸滑軌、與所述Z軸滑軌裝配在一起的Z軸滑塊，所述X軸移動(dòng)臺(tái)裝設(shè)于所述X軸滑塊上，所述Y軸移動(dòng)臺(tái)裝設(shè)于所述Y軸滑塊上，所述Z軸移動(dòng)臺(tái)裝設(shè)于所述Z軸滑塊上，所述第一CCD攝像頭裝設(shè)于所述Z軸移動(dòng)結(jié)構(gòu)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述光路結(jié)構(gòu)包括第一反射鏡、第二反射鏡、擴(kuò)束鏡、光閘及振鏡，所述光路結(jié)構(gòu)內(nèi)部的各部件的裝配順序是：所述擴(kuò)束鏡裝設(shè)于所述激光發(fā)生器前面，所述光閘裝設(shè)于所述擴(kuò)束鏡前面，所述第一反射鏡裝設(shè)于所述光閘前面，所述第二反射鏡裝設(shè)于所述第一反射鏡前面，所述振鏡裝設(shè)于所述第一反射鏡前面，所述打標(biāo)頭裝設(shè)于所述振鏡前面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述角度校正結(jié)構(gòu)組件包括角度校正平臺(tái)、設(shè)置于角度校正平臺(tái)上的對(duì)待打標(biāo)的晶圓進(jìn)行角度校正的第二CCD檢測(cè)結(jié)構(gòu)、設(shè)置于角度校正平臺(tái)上的對(duì)待打標(biāo)的晶圓的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行比較的OCR檢測(cè)結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光打標(biāo)機(jī)，其特征在于：所述控制組件包括：顯示模塊，用于將所述的激光打標(biāo)機(jī)的性能參數(shù)通過(guò)界面顯示；和/或按鍵模塊，用于操縱所述激光打標(biāo)機(jī)進(jìn)行工作。