[實用新型]手持光罩夾

有效

• 申請號: 201520039787.2
• 申請日: 2015-01-20
• 公開（公告）號: CN204414087U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 趙連永
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B25J1/00
• 分類號: B25J1/00;B25J15/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種手持光罩夾。

背景技術

在現有技術的光刻設備中，通常是使用機械手臂將光罩傳輸至設備內部，將光罩(Mask?or?Reticle)放置位于多組透鏡的上方，以進行曝光等工藝。通常情況下，所述光罩的傳送處理都是由機械手完成的，但有些時候不得不使用手動去處理沒有保護的光罩，譬如，在光刻的過程中，如果光刻設備出現意外或者故障時，由于光刻設備無法繼續進行正常工作，需要手動取出所述光罩，重新對設備機臺進行恢復之后才能進行工作。

現有工藝中，在需要手動處理所述光罩的時候，一般需要使用手動光罩夾來實現對所述光罩的取出和轉移?，F有的手持光罩夾如圖1所示，圖1為所述手持光罩夾的三維結構示意圖，由圖1可知，所述手持光罩夾包括：手柄11；與所述手柄11一端相連接的一對夾臂12；位于所述夾臂12一端的一對夾爪13，所述兩個夾爪13相對的一側設有開口14；彈簧(未示出)，所述彈簧位于所述手持光罩夾的內部，且與所述手柄11和所述夾臂12相連接。在使用的過程中，所述兩個設有所述開口14的所述夾爪13通過所述夾臂12在所述彈簧的作用下分別夾緊所述光罩的兩個側邊。然而，現有的所述手持光罩夾沒有任何防護裝置用以放置所述光罩的掉落或光罩內薄膜的損毀，且所述手持光罩夾的所述手柄11、夾臂12和夾爪13的底部在放置時并非位于同一平面上，在使用所述手持光罩夾手動轉移或處理所述光罩的時候，尤其是將所述手持光罩夾放置時，容易導致其所夾持的光罩掉落或所述光罩上的薄膜被損毀。

而且，請參閱圖2，圖2為所述光罩15的俯視圖，由圖2可知，所述光罩15上存在有圖形區域16，位于所述圖形區域16內的線條極細，并且薄膜較薄，若手指觸碰上回污染所述圖形區域16，嚴重的則會導致所述光罩15無法正常使用，甚至報廢。

現有技術中，使用所述手動光罩夾處理所述光罩15時存在以下風險：

1.若手指觸碰到所述光罩15，則會在所述光罩15的圖形區域16內造成污染，導致生產出來的晶片存在缺陷甚至報廢；

2.所述光罩15若損壞或報廢，對所述光罩15進行修復或重新制作一塊新的所述光罩15的時間比較長，而在所述光罩15修復或重新制作的過程中，相關的生產線處于停線狀態，這必定會造成巨大的損失。

因此，提供一種改進型的手持光罩夾非常必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種手持光罩夾，用于解決現有技術中由于手持光罩夾沒有任何防護裝置，容易導致在人工轉移或處理光罩時造成光罩掉落或光罩內的薄膜被損毀的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種手持光罩夾，包括：手柄、與所述手柄相連接一對夾臂和位于所述夾臂上的一對夾爪，所述手持光罩夾的底部設有多個可收放的支撐架。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述支撐架完全打開后，所述支撐架的底部位于同一平面上。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述支撐架橫截面的形狀為三角形、圓形或多邊形。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述支撐架的數目為三個，分別位于兩個所述夾爪的底部和所述手柄的底部。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述夾爪的底部和所述手柄的底部均設有用于收容所述支撐架的收容槽，所述支撐架的一端鉸接于所述收容槽的側壁或底部。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述收容槽的深度大于或等于所述支撐架的厚度。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述夾爪和所述手柄的底部均設有深槽；所述支撐架包括第一子支撐架和第二子支撐架，所述第一子支撐架部分位于所述深槽內，所述第一子支撐架相對的兩側設有對應的通孔，所述通孔位于所述深槽外側，所述第一子支撐架內部設有空腔，所述第一子支撐架底部設有第一開口，適于所述第二子支撐架進出；所述第二子支撐架位于所述空腔內，所述第二子支撐架與所述通孔相對應的兩側均設有第一彈簧和滑塊；所述空腔的橫向尺寸大于所述第二子支撐架的橫向尺寸且小于所述第二子支撐架的橫向尺寸、兩個所述第一彈簧的自然長度和兩個所述滑塊的橫向尺寸之和。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述夾爪為塑料夾爪，兩個所述夾爪相對的一側均設有第二開口，且位于所述兩個夾爪內的第二開口相對應。

作為本實用新型的手持光罩夾的一種優選方案，所述手持光罩夾還包括一彈簧，所述彈簧位于所述手持光罩夾的內部，且與所述手柄和夾臂均相連接。