[實(shí)用新型]一種二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520038915.1
• 申請(qǐng)日: 2015-01-20
• 公開（公告）號(hào): CN204397857U
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于傳文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱溶智納芯科技有限公司
• 主分類號(hào): B25H1/00
• 分類號(hào): B25H1/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 王大為

1.一種二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)包括X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)、Y向微動(dòng)臺(tái)總成(02)、連接板(04)與底座(05)，

X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)與Y向微動(dòng)臺(tái)總成(02)的結(jié)構(gòu)相同，

X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)包括定位平臺(tái)機(jī)體(31)、傳感器支架(32)、傳感器、接線連接器(34)、壓電陶瓷(35)與移動(dòng)臺(tái)(36)，

定位平臺(tái)機(jī)體(31)頂面開設(shè)有腔體，移動(dòng)臺(tái)(36)與腔體相配合，移動(dòng)臺(tái)(36)底面固接有擋板(37)，定位平臺(tái)機(jī)體(31)與移動(dòng)臺(tái)(36)通過(guò)柔性鉸鏈(06)連接，壓電陶瓷(35)置于移動(dòng)臺(tái)(36)底面，傳感器支架(32)、擋板(37)與壓電陶瓷(35)依次沿移動(dòng)臺(tái)(36)移動(dòng)方向設(shè)置，壓電陶瓷(35)的伸縮方向與移動(dòng)臺(tái)(36)的移動(dòng)方向相一致，壓電陶瓷(35)的一端與擋板(37)貼合，壓電陶瓷(35)的另一端與腔體側(cè)壁貼合，

傳感器支架(32)為Z形支架，傳感器設(shè)置于傳感器支架(32)內(nèi)，傳感器的兩個(gè)觸點(diǎn)分別設(shè)置于傳感器支架(32)的兩端，傳感器支架(32)的一端與擋板(37)連接，傳感器支架(32)的另一端與定位平臺(tái)機(jī)體(31)連接，接線連接器(34)設(shè)置于定位平臺(tái)機(jī)體(31)的外側(cè)壁，

Y向微動(dòng)臺(tái)總成(02)、連接板(04)、X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)與底座(05)由上至下依次可拆卸連接，Y向微動(dòng)臺(tái)總成(02)的移動(dòng)臺(tái)(36)的移動(dòng)方向與X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)的移動(dòng)臺(tái)(36)的移動(dòng)方向相垂直。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：定位平臺(tái)機(jī)體(31)為水平放置的方形平臺(tái)機(jī)體，移動(dòng)臺(tái)(36)為水平放置的方形臺(tái)，移動(dòng)臺(tái)(36)的側(cè)壁沿豎直方向開設(shè)有凹槽(38)，定位平臺(tái)機(jī)體(31)的腔體側(cè)壁固接有凸臺(tái)(39)，凸臺(tái)(39)與凹槽(38)相配合，壓電陶瓷(35)的所述另一端與凸臺(tái)(39)相貼合，移動(dòng)臺(tái)(36)頂面固接有方形蓋板，方形蓋板尺寸與移動(dòng)臺(tái)(36)頂面尺寸一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：連接板(04)為方形板，X向微動(dòng)臺(tái)總成(01)的移動(dòng)臺(tái)(36)與連接板(04)通過(guò)螺紋連接件可拆卸連接，Y向微動(dòng)臺(tái)總成(02)的定位平臺(tái)機(jī)體(31)四角處與連接板(04)通過(guò)螺紋連接件可拆卸連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：柔性鉸鏈(06)包括四個(gè)連接臂(61)，四個(gè)連接臂(61)將移動(dòng)臺(tái)(36)的四邊與定位平臺(tái)機(jī)體(31)相連接，四條長(zhǎng)條形通槽(62)依次沿移動(dòng)臺(tái)(36)的邊檐開設(shè)于四個(gè)連接臂(61)上，相鄰的長(zhǎng)條形通槽(62)的兩端于移動(dòng)臺(tái)(36)的直角處相互平行疊加設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：壓電陶瓷(35)為水平設(shè)置的長(zhǎng)方體，壓電陶瓷(35)的長(zhǎng)邊沿移動(dòng)臺(tái)(36)的移動(dòng)方向設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：傳感器支架(32)包括兩個(gè)水平臂(71)與一個(gè)豎直板(72)，豎直板(72)的頂端與一個(gè)水平臂(71)固接，豎直板(72)的底端與另一個(gè)水平臂(71)固接，每個(gè)水平臂(71)開設(shè)有若干個(gè)螺紋孔(73)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：腔體為通腔且沿豎直方向開設(shè)，移動(dòng)臺(tái)(36)設(shè)置于腔體頂部，腔體底面設(shè)有底板(74)，底板(74)與定位平臺(tái)機(jī)體(31)可拆卸連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的二自由度組合式全閉環(huán)納米級(jí)微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：定位平臺(tái)機(jī)體(31)的側(cè)壁固接有側(cè)板(75)，側(cè)板(75)與傳感器支架(32)正對(duì)設(shè)置。