[實用新型]一種噴金濺射儀

有效

• 申請號: 201520032898.0
• 申請日: 2015-01-17
• 公開（公告）號: CN204417581U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 尚躍;余夕霞
• 申請（專利權）人: 上海聚躍電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測領域，具體涉及一種噴金濺射儀。

背景技術

半導體(比如芯片)在進行檢測時，部分半導體的樣品因制作等各種原因而出現導電性比較差的現象，嚴重影響樣品的后序檢測及觀察樣品結構，為了解決此問題，半導體的樣品在檢測前，利用噴金濺射儀在半導體的樣品表面鍍一層金屬膜，從而提高樣品的導電性，但現有的噴金濺射儀全部從國外進口，存在著成本高、控制不方便等缺點。

實用新型內容

鑒于目前噴金濺射儀存在的上述不足，本實用新型提供一種能大幅提高樣品的導電性、成本低、控制方便的噴金濺射儀。

為達到上述目的，本實用新型采用根據下技術方案：

一種噴金濺射儀，包括腔體，所述腔體的內部設有金靶、濺射頭、真空室、倒計時器和樣品臺，所述腔體的外側設有操作設備和電源，所述濺射頭固定在真空室的頂部，所述真空室的側面設有濺射氣體入口和真空泵連接出口，所述金靶安裝在濺射頭內，所述樣品臺位于真空室內部的底部中間，所述樣品臺通過線路與電源接通，所述操作設備位于樣品臺與電源之間的線路上，所述金靶通過倒計時器與電源連接。

依照本實用新型的一個方面，所述噴金濺射儀還包括轉盤，所述真空室與轉盤的頂部進行密封連接，所述樣品臺固定在轉盤的頂部。

依照本實用新型的一個方面，所述樣品臺固定在轉盤頂部的正中間。

依照本實用新型的一個方面，所述真空室為圓形的透明玻璃真空罩。

依照本實用新型的一個方面，所述濺射頭與真空室接觸處設有濺射口，所述濺射口的位置安裝有自動門。

本實用新型的優點：由于本實用新型的腔體的內部設有金靶、濺射頭、真空室、倒計時器和樣品臺，腔體的外側設有操作設備和電源，濺射頭固定在真空室的頂部，金靶安裝在濺射頭內，樣品臺位于真空室內部的底部中間，樣品臺通過線路與電源接通，操作設備位于樣品臺與電源之間的線路上，便于操作人員對噴金濺射儀的控制，金靶通過倒計時器與電源連接，在電源的陽極與陰極之間使用合適的氣體和電壓，當真空室出現輝光放電時，金靶在氣體離子的轟擊下侵蝕樣品，濺射出來的金屬原子將樣品表面形成一層金屬薄膜，從而大幅提高樣品的導電性，由于真空室的側面設有濺射氣體入口和真空泵連接出口，在保證真空室絕對密封的前提下，簡化了噴金濺射儀的結構設計，比如：濺射氣體的送入問題、真空室內的真空度大小調節等問題，降低了噴金濺射儀的成本，所以本實用新型的噴金濺射儀能大幅提高樣品的導電性、成本低、控制方便。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的一種噴金濺射儀的示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

如圖1所示，一種噴金濺射儀，包括腔體11，所述腔體11的內部設有金靶3、濺射頭4、真空室10、倒計時器2和樣品臺8，腔體11的外側設有操作設備13和電源1，濺射頭3固定在真空室10的頂部，真空室10的側面設有濺射氣體入口9和真空泵連接出口6，金靶3安裝在濺射頭4內，樣品臺8位于真空室10內部的底部中間，樣品臺8通過線路12與電源1接通，操作設備13位于樣品臺8與電源1之間的線路上，金靶3通過倒計時器2與電源1連接。