[實用新型]帶有防腐層的新型PECVD沉積槽

有效

• 申請號: 201520031860.1
• 申請日: 2015-01-16
• 公開（公告）號: CN204417590U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 雷曉宏
• 申請（專利權）人: 北京通嘉宏盛科技有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;B32B1/02
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術領域

本實用新型涉及一種PECVD沉積槽，尤其是一種帶有防腐層的新型PECVD沉積槽。

背景技術

由于在PECVD沉積槽的頂部表面覆蓋有能夠污染物與沉積槽本體之間的粘合力的噴砂層與等離子層，因此，當沉積槽本體表面粘合的污染物過多時，其污染物會慢慢對噴砂層與等離子層進行腐蝕，從而滲透至沉積槽本體的表面，對其進行腐蝕。

發明內容

針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種具有良好防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕的帶有防腐層的新型PECVD沉積槽。

為實現上述目的，本實用新型提供一種帶有防腐層的新型PECVD沉積槽，包括沉積槽本體(1)、以及依次覆蓋在其頂部表面的噴砂層(2)與等離子層(3)，在所述噴砂層(2)與所述沉積槽本體(1)的頂部表面之間還覆蓋有礦脂防腐層(4)，所述礦脂防腐層(4)由所述礦脂底漆層(41)、礦脂膠泥層(42)、礦脂膠帶層(43)與外保護帶(44)四層復合構成。

上述的帶有防腐層的新型PECVD沉積槽，其中，所述礦脂膠帶層(43)由已經浸漬過防腐礦脂的背材層(431)、防腐膠層(432)與防粘膜層(433)三層復合構成。

上述的帶有防腐層的新型PECVD沉積槽，其中，所述礦脂膠帶層(43)的厚度為1—1.5mm。

上述的帶有防腐層的新型PECVD沉積槽，其中，在所述沉積槽本體(1)的底部表面還覆蓋有外保護帶(44)。

上述的帶有防腐層的新型PECVD沉積槽，其中，所述沉積槽本體(1)為不銹鋼V字形板槽，其厚度為1.2mm。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

本實用新型通過在其頂部表面增加礦脂防腐層，從而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物對沉積槽進行腐蝕，其中，礦脂底漆層能很好的降低沉積槽本體的粗糙度，并保證礦脂膠泥和沉積槽本體外表面能夠緊密結合，并使得礦脂膠泥能很好的涂覆、填充在凹凸不平的工件表面，找平工件，密封性好；PVC外保護帶能很好的保護內部的礦脂膠泥及礦脂膠帶，從而形成一個密封防腐整體。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構圖；

圖2為圖1中A部分的放大圖；

圖3為本實用新型礦脂膠帶層的結構圖。

主要附圖標記說明如下：

1-沉積槽本體；2-噴砂層；3-等離子層；4-礦脂防腐層；41-礦脂底漆層；42-礦脂膠泥層；43-礦脂膠帶層；431-背材層；432-防腐膠層；433-防粘膜層；44-外保護帶

具體實施方式

如圖1至圖3所示，本實用新型包括沉積槽本體1、以及依次覆蓋在其頂部表面的噴砂層2與等離子層3，其中，沉積槽本體1為不銹鋼V字形板槽，其厚度為1.2mm。在噴砂層2與沉積槽本體1的頂部表面之間還覆蓋有礦脂防腐層4，礦脂防腐層4由礦脂底漆層41、礦脂膠泥層42、礦脂膠帶層43與外保護帶44四層復合構成。其中，礦脂膠帶層43的厚度為1—1.5mm，由已經浸漬過防腐礦脂的背材層431、防腐膠層432與防粘膜層433三層復合構成。外保護帶44為PVC外保護帶。

在加工時，首先，在沉積槽本體的頂部表面涂上一層礦脂底漆層，以便能很好的降低工件的粗糙度，并保證礦脂膠泥層和沉積槽本體的頂部表面能夠緊密結合；其次，再刮涂上一層礦脂膠泥層，使得礦脂膠泥層能夠很好的涂覆、填充在凹凸不平的沉積槽本體表面，找平沉積槽本體表面；再次，再包上一層礦脂膠帶層，保證良好的防腐效果；然后，在礦脂膠帶層的表面再包上一層PVC外保護帶層，從而形成一個密封的防腐整體；然后，通過噴砂機在沉積槽本體的頂部表面進行噴砂處理，形成噴砂層；最后，通過電鍍技術在噴砂層的頂面形成一層等離子層，以增強污染物與沉積槽之間的粘合力。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，對發明而言僅僅是說明性的，而非限制性的。本專業技術人員理解，在發明權利要求所限定的精神和范圍內可對其進行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本實用新型的保護范圍內。