[實(shí)用新型]一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520030170.4 | 申請日： | 2015-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN204490996U | 公開（公告）日： | 2015-07-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張本漢;許永章;陳金明;鄧世權(quán) | 申請（專利權(quán)）人： | 信豐正天偉電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08;H05K3/06 |
| 代理公司： | 長沙朕揚(yáng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 胡慧 |
| 地址： | 341600 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 噴淋 蝕刻 實(shí)驗 裝置 | ||
1.一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置，包括蝕刻箱以及蝕刻液裝置槽，其特征在于，蝕刻箱與蝕刻液裝置槽之間通過兩根連接管道以首尾相接的方式連接成循環(huán)回路，而在蝕刻箱和蝕刻液裝置槽組成的循環(huán)回路下部還設(shè)置有一個接水托盤；所述蝕刻箱下部連接有一個攪拌器，蝕刻箱中設(shè)置有旋轉(zhuǎn)塑料圓盤，旋轉(zhuǎn)塑料圓盤與攪拌器輸出軸相連并通過攪拌器傳遞扭矩；另外，在所述蝕刻箱的陰極棒與陽極之間安裝有帶循環(huán)攪拌噴嘴的噴淋管，噴淋管的噴嘴為高壓扇形噴嘴，而在噴淋管的前端則連接到從蝕刻液裝置槽接入蝕刻箱的連接管道上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置，其特征在于，所述兩根連接管道上均設(shè)置有調(diào)節(jié)閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置，其特征在于，所述攪拌器為數(shù)顯攪拌器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置，其特征在于，所述循環(huán)回路中從蝕刻箱出來的連接管道上設(shè)置有一個耐腐蝕磁力泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋蝕刻實(shí)驗裝置，其特征在于，所述蝕刻托盤為耐酸堿的聚丙烯托盤。
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