[實用新型]一種射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置

有效

• 申請號: 201520026301.1
• 申請日: 2015-01-10
• 公開（公告）號: CN204462234U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 王紹金;王昆;朱瀚昆
• 申請（專利權）人: 西北農林科技大學
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置，由電流表(2)、銅板(3)、元器件盒(4)構成，其特征在于：所述電流表(2)與元器件盒(4)之間由屏蔽性較好的導線連接；所述元器件盒(4)與射頻加熱系統上極板(1)之間由剛性的銅板(3)連接；所述元器件盒(4)被固定在射頻加熱系統上極板上方的鋼架結構上；所述電流表(2)被置于射頻加熱腔的外部。

2.根據權利要求1所述的射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置，其特征在于，銅板(3)為厚3mm，寬50mm的紫銅板。

3.根據權利要求1所述的射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置，其特征在于，所述元器件盒(4)內有測量主要電路。

4.根據權利要求3所述的射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置，其特征在于，所述測量主要電路包括4個電容，5個電阻和1個二極管；

所述電容C₁一端連接上極板，另一端與C₂串聯，電容C₂另一端接地，電阻R₁和R₂串聯之后與電容C₂并聯；

所述二極管與電阻R₂并聯，正極接地，負極接在串聯的R₁和R₂之間，電容C₃與二極管并聯，電阻R₃一端與二極管負極相連，另一端連接電阻R₄和電阻R₅之間，電阻R₄另一端接地，電阻R₅另一端連接電流表與電容C₄組成的的并聯電路，電流表負極接地，電阻R₃和R₄串聯后與電容C₃并聯，電阻R₅與電容C₄串聯后與電阻R₄并聯，電流表正極接在C₄和R₅之間，負極接地。

5.根據權利要求4所述的射頻加熱系統上極板電壓的測量裝置，其特征在于，所述電容C₁容值是1pF，電容C₂容值是50pF，電容C₃和C₄容值是10,000pF；

所述電阻R₁和R₂阻值為50kΩ，電阻R₃、R₄和R₅阻值為3.3kΩ。