[實用新型]具有等離子處理功能的手套箱

有效

• 申請號: 201520025194.0
• 申請日: 2015-01-14
• 公開（公告）號: CN204382305U
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 李春風
• 申請（專利權）人: 威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B25J21/02
• 分類號: B25J21/02;H01J9/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 何蔚

技術領域

本實用新型涉及一種手套箱，具體涉及一種具有等離子處理功能的手套箱。

背景技術

手套箱廣泛應用于鋰電、核能、醫學以及化學化工等各種行業。目前所使用的手套箱為了方便連接手套箱的內部和外部，通常會設置過渡倉，現有的過渡倉的功能多是用來傳遞材料、工具等的，有些還具有烘箱或真空烘箱的功能，而在實際的一些科研或生產過程中涉及到一些需要干法清洗的工藝過程，例如有機發光二極管(OLED)、有機光伏器件(OPV)等就需要使用到這些干法清洗的工藝過程。而目前的清洗都是在手套箱外部進行的，但是如果在表面處理完再通過手套箱過渡艙傳遞進手套箱進行試驗，可能涉及到二次污染或氧化等問題。為了避免這種問題，現有一些工作人員會直接把清洗設備放入到手套箱箱體內，然后通過雙手將樣品在手套箱箱體內部進行清洗，但是手套箱箱體內的空間本來就較為有限，并且在手套箱箱體內部清洗，操作起來也會不便，要清洗干凈也勢必會需要花去更多的時間和精力。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種可以避免樣品二次污染或氧化、且操作方便又節省手套箱箱體空間的具有等離子處理功能的手套箱。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

具有等離子處理功能的手套箱，包括手套箱箱體和過渡倉，該過渡倉的內壁上固定設置有至少一等離子源，該過渡倉上還設置有連通該過渡倉內部的至少一開口或管路，該開口或管路連接工作氣氣源，用于向過渡倉內輸入清洗所需的工作氣，該過渡倉還連接真空泵，該真空泵將該過渡倉進行抽真空處理。

本實用新型的手套箱利用了原先的過渡倉，并對該過渡倉作了改進，主要在于過渡倉上安裝了等離子源、設置了連接工作氣氣源的開口或管路、以及連接了用于抽真空的真空泵等，由于清洗過程中需要保證內部的真空或低壓環境，利用新加入的真空泵或者原過渡倉所具備的真空泵，正好可以使得過渡倉變成一個適合清洗的真空環境，然后利用等離子源和工作氣的作用，在樣品通過過渡倉進入到手套箱箱體內的過程中，直接完成了對樣品的清洗過程。

因此，本實用新型與現有技術相比，其有效地利用了過渡倉的現有空間，并且不需要手伸入箱體內進行清洗作業，在節省手套箱箱體空間的同時還提高了清洗操作的便利性，同時在密閉的過渡倉內完成清洗后直接進入到手套箱箱體內，避免了與外界的接觸，也可以有效地避免樣品的二次污染或氧化問題。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以作如下改進：

作為優選的方案，上述的過渡倉內還設置有托盤，其位于等離子源的下方。

采用上述優選的方案，可以使得樣品在清洗過程中具有一個可固定放置的地方，從而可以保證清洗的效果。

作為優選的方案，上述的開口或管路、以及真空泵設置連接位于托盤下方的過渡倉的外壁上。

采用上述優選的方案，可以便于配合等離子源完成對樣品的清洗，以及對過渡倉的抽真空作業。

作為優選的方案，上述的過渡倉內設置有腔體，等離子源設置于該腔體內，開口或管路、以及真空泵同時連通該腔體。

采用上述優選的方案，使得過渡倉可以形成雙層式的結構，使得物料的輸送和樣品的清洗可以各自獨立而互不影響，便于一些不需要清洗的物料可以迅速地進入到手套箱箱體內，從而提高過渡倉的工作效率，另一方面也可以進一步地提高清洗環境的真空度。

附圖說明

圖1為本實用新型的具有等離子處理功能的手套箱在一些實施方式下的結構示意圖。

圖2為本實用新型的具有等離子處理功能的手套箱在另一些實施方式下的結構示意圖。

其中，1.手套箱箱體11.控制器2.過渡倉21.外門22.內門3.等離子源4.管路41.工作氣氣源5.真空泵51.管路6.托盤7.腔體71.門。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。