[實用新型]固晶機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520022200.7 | 申請日： | 2015-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN204391058U | 公開（公告）日： | 2015-06-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 董劍華 | 申請（專利權(quán)）人： | 群光電子（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 215200 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固晶機 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種固晶機，其特征在于：包括機體(1)，機體(1)上設(shè)有用于晶元放置的機臺(2)，機臺(2)上裝有遮擋晶元的防塵蓋(3)，防塵蓋(3)上設(shè)有便于機體(1)上的吸嘴桿(4)穿過的孔(301)和便于所述固晶機上的氣管放置的凹槽(302)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機，其特征在于：防塵蓋(3)的兩側(cè)分別連接有安裝機構(gòu)(5)，安裝機構(gòu)(5)與機體(1)可拆卸連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固晶機，其特征在于：安裝機構(gòu)(5)與防塵蓋(3)螺接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機，其特征在于：防塵蓋(3)的材質(zhì)為便于查看所述晶元加工情況的有機玻璃。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的固晶機，其特征在于：安裝機構(gòu)(5)的材質(zhì)為鋁，安裝機構(gòu)(5)的表面涂有加硬處理的黑色涂料。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
