[實(shí)用新型]氣場(chǎng)指示片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520021281.9
• 申請(qǐng)日: 2015-01-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204330806U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏英哲;溫俊斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01P13/02
• 分類號(hào): G01P13/02
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 張瑾

1.一種氣場(chǎng)指示片，其設(shè)于一開(kāi)口或一視窗，該開(kāi)口或該視窗位于一隔板，該隔板位于一化學(xué)濕制程機(jī)臺(tái)的二槽室之間，其特征在于，該氣場(chǎng)指示片包含有：

一固定部；以及

一指示部，其具有多數(shù)個(gè)條狀片，各條狀片具有一自由端與一固定端，該固定端連接該固定部的一側(cè)；

其中，當(dāng)二槽室之間產(chǎn)生氣流時(shí)，該指示部產(chǎn)生一指示偏角。

2.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該化學(xué)濕制程機(jī)臺(tái)為一純水噴灑機(jī)臺(tái)、一清洗制程機(jī)臺(tái)、一隔離制程機(jī)臺(tái)、一蝕刻制程機(jī)臺(tái)、一顯影制程機(jī)臺(tái)、一剝膜制程機(jī)臺(tái)或一吹干制程機(jī)臺(tái)。

3.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，二條狀片之間具有一第一間距。

4.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊、該第二側(cè)邊與該條狀片的自由端呈一垂直狀。

5.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該條狀片的自由端呈一尖端狀。

6.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊與該第二側(cè)邊呈一漸縮狀，該條狀片呈一針狀。

7.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該氣場(chǎng)指示片為一抗腐蝕材質(zhì)，該抗腐蝕材質(zhì)為聚四氟乙烯、氟橡膠、聚乙烯醇、聚酯、乙烯-四氟化乙烯共聚物或聚丙烯。

8.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該氣場(chǎng)指示片的表面涂設(shè)有一斥水性涂料層。

9.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該固定部設(shè)于該開(kāi)口，該指示部延伸至該開(kāi)口中。

10.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該固定部設(shè)于該視窗，該指示部延伸至該視窗中。

11.如權(quán)利要求1所述的氣場(chǎng)指示片，其特征在于，該機(jī)臺(tái)具有一槽室，該槽室相鄰于該指示部的位置處設(shè)有至少一個(gè)傳感器。